요약 | 본 발명은 하기 화학식 1의 란타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성된 란타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 란타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다..[화학식 1]La[O-A-N(R3)-B-NR1R2]3[상기 식에서 A는 C2-C5의 알킬렌이고; B는 C1-C4의 알킬렌이고; 상기 A 및 B는 하나 이상의 C1-C5의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1, R2 및 R3는 서로 독립적으로 H 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이다.]란타늄 산화물 선구 물질, 란타늄 산화물, 박막, MOCVD |
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Int. CL | C01F 17/00 (2006.01) |
CPC | C07F 5/00(2013.01) C07F 5/00(2013.01) C07F 5/00(2013.01) C07F 5/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060031406 (2006.04.06) |
출원인 | 한국화학연구원 |
등록번호/일자 | 10-0684992-0000 (2007.02.13) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20070222) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.04.06) |
심사청구항수 | 6 |