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금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015138712
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법에 관한 것으로서, 금속 코어요소 표면에 하나 또는 다수의 분리층을 형성시켜 구성된 코어수단을 전극부와 연결하여 석출반응기 내부에 위치시키고, 전극부를 통해 전기를 공급하여 코어수단을 가열하면서 코어수단 표면에 외부방향으로 실리콘을 석출시켜 석출부를 형성시키는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 제조방법에 의하면, 석출반응 종료 후 얻어지는 실리콘 봉으로부터 석출부와 코어수단의 분리를 용이하게 할 수 있고, 석출부가 금속 코어요소의 불순물에 의해 오염되는 것을 최소화하면서 고순도 실리콘을 제조할 수 있게 된다. 다결정 실리콘, 실리콘 봉, 석출반응기, 금속, 코어, 가열
Int. CL C30B 29/06 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060045707 (2006.05.22)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0768148-0000 (2007.10.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.22)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김희영 대한민국 대전 유성구
2 윤경구 대한민국 대전 유성구
3 박용기 대한민국 대전 유성구
4 문상진 대한민국 대전 유성구
5 최원춘 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0355123-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0003811-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0212142-27
5 의견서
Written Opinion		 2007.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0448651-21
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0448650-86
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0536446-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1
봉 형상의 다결정 실리콘을 제조하는 방법에 있어서,상기 봉 형상의 다결정 실리콘을 제조하기 위한 석출반응기에서 금속 코어요소의 표면에 하나 또는 다수의 분리층을 형성시켜 구성되는 코어수단을 전극부에 연결한 상태가 되도록 하여 석출반응기의 내부공간에 위치시키는 단계와;상기 전극부를 통해 전기를 공급하여 상기 코어수단을 가열하는 단계와;상기 석출반응기의 내부공간에 반응가스를 공급하여 상기 코어수단의 표면에 외부방향으로 실리콘을 석출시킴으로써 실리콘 석출부를 형성시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 반응가스는 모노실란, 이염화실란, 삼염화실란 및 사염화실란 중에 선택된 실리콘함유성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 반응가스는 수소, 질소, 아르곤, 헬륨 및 염화수소 중에 선택된 가스성분을 추가로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 석출반응기 내부공간에서의 절대압 기준으로 1 ~ 20 bar 범위 내의 반응압력과, 상기 석출부 표면에서의 온도 기준으로 650 ~ 1,300 ℃ 범위 내의 반응온도에서 상기 석출부 표면에 실리콘을 석출시키는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 금속 코어요소는 단면이 원, 타원 또는 다각형인 로드(rod), 와이어(wire), 필라멘트(filament), 바(bar), 스트립(strip) 및 리본(ribbon)과, 단면이 동심원, 동심타원 또는 동심다각형인 도관(conduit), 튜브(tube), 실린더(cylinder) 및 덕트(duct) 중에 선택된 형태를 가지도록 제작한 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
6 6
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서, 상기 금속 코어요소는 텅스텐(W), 레늄(Re), 오스뮴(Os), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 노븀(Nb), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 로듐(Rh), 바나듐(V), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 백금(Pt), 토륨(Th), 란타늄(La), 티타늄(Ti), 루테늄(Lu), 이트륨(Y), 철(Fe), 니켈(Ni) 및 알루미늄(Al) 중에 선택된 금속원소를 포함하는 금속 또는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 분리층이 분리기능성분으로 이루어진 1가지 이상 5가지 이하 종류의 층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 분리층의 각 층을 이루는 분리기능성분이 실리콘(Si)의 질화물, 산화물, 탄화물 또는 산화질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
9 9
청구항 7에 있어서, 상기 분리층의 각 층을 이루는 분리기능성분이 텅스텐(W), 레늄(Re), 오스뮴(Os), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 노븀(Nb), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 로듐(Rh), 바나듐(V), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 백금(Pt), 토륨(Th), 란타늄(La), 티타늄(Ti), 루테늄(Lu), 이트륨(Y), 철(Fe), 니켈(Ni) 및 알루미늄(Al) 중에 선택된 금속원소의 질화물, 산화물, 규소화물, 탄화물, 산화질화물 또는 산화규소화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
10 10
청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층 두께의 합을 10 nm ~ 20 mm의 범위 내에 포함되도록 하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
11 11
청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층에 실리콘을 분리기능성분으로 하는 실리콘층을 1 ㎛ ~ 10 mm의 두께로 추가로 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 실리콘층은 석출반응기의 내부공간에서 금속 코어요소와 전극부를 연결한 상태로 상기 전극부를 통해 전기를 공급하여 상기 금속 코어요소를 가열하고, 상기 석출반응기의 내부공간에 원료가스로서 다결정 실리콘 봉 제조시의 실리콘 석출부 형성을 위한 반응가스를 공급하여 형성시키되, 이때의 반응조건을 실리콘 석출부 형성을 위한 반응조건과 달리하여, 실리콘 석출부와 결정구조 및 열팽창 특성 면에서 서로 차이를 가지도록 형성시키는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
13 13
청구항 1에 있어서, 상기 금속 코어요소를 상기 전극부와 연결하여 상기 석출반응기의 내부공간에 위치시킨 뒤, 상기 전극부를 통해 전기를 공급하여 상기 금속 코어요소를 가열하고, 상기 석출반응기의 내부공간에 분리층 형성용 원료가스를 공급하여 금속 코어요소의 표면에 분리층을 형성시킴으로써, 상기 코어수단을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
14 14
청구항 1에 있어서, 상기 분리층의 일부가 형성된 예비 코어수단을 상기 전극부와 연결하여 상기 석출반응기의 내부공간에 위치시킨 뒤, 상기 전극부를 통해 전기를 공급하여 상기 예비 코어수단을 가열하고, 상기 석출반응기의 내부공간에 분리층 형성용 원료가스를 공급하여 예비 코어수단의 표면에 분리층을 추가로 형성시킴으로써, 상기 코어수단을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
15 15
청구항 1에 있어서, 상기 분리층을 우선 제작한 뒤 상기 금속 코어요소를 에워싸도록 조립하여 코어수단을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
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3 EP02027303 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
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4 CN101389785 CN 중국 DOCDBFAMILY
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