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신규의 알루미늄 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015138869
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 알루미늄 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조방법에 관한 것이다. [화학식 1] [상기 화학식 1에서, A는 C2-C5의 알킬렌이고; 상기 A는 하나 이상의 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1 및 R2는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이고; R3는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 트리(C1-C5)알킬실릴기이다.] 본 발명에 따르는 알루미늄 아미노 알콕사이드 화합물은 산화알루미늄 선구 물질로서 상온에서 고체 상태로 존재하며 낮은 온도에서 높은 증기압을 가지는 특성을 나타냄으로 알루미늄을 포함하는 물질의 박막 증착 또는 여러 가지 합금 증착에 알루미늄 원료 물질로 유용하게 사용될 수 있다. 알루미늄, 알루미늄 산화물, 알루미늄 산화물 선구물질, 박막, 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD), 원자층 증착법(ALD)
Int. CL C07F 5/06 (2006.01) C07F 5/00 (2006.01)
CPC C07F 19/00(2013.01) C07F 19/00(2013.01) C07F 19/00(2013.01)
출원번호/일자 1020080083183 (2008.08.26)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0962431-0000 (2010.06.03)
공개번호/일자 10-2010-0024568 (2010.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20100614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전시 유성구
3 이영국 대한민국 대전시 유성구
4 안기석 대한민국 대전시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전시 중구
6 박민정 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0605947-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0515616-10
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0096127-00
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0138444-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0138478-84
7 등록결정서
Decision to grant		 2010.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0220266-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 2로 표시되는 알루미늄 아미노알콕사이드 화합물
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
하기 화학식 3으로 표시되는 알루미늄 화합물과 화학식 4로 표시되는 알칼리 금속염을 반응시켜 얻은 하기 화학식 5로 표시되는 화합물과 화학식 6의 알칼리 금속염을 반응시키는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 알루미늄 아미노알콕사이드 화합물의 제조방법
6 6
하기 화학식 7로 표시되는 알루미늄 아미드 화합물과 화학식 8로 표시되는 아미노알코올 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 알루미늄 아미노알콕사이드 화합물의 제조방법
7 7
제 1항에 따른 알루미늄 아미노알콕사이드 화합물을 선구물질로 사용하여 알루미늄 산화물을 성장시키는 방법
8 8
제7항에 있어서, 알루미늄 산화물을 화학기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 투명 전자소자용 전구체 및 금속 산화물 성막기술 개발(창의적연구)