1 |
1
하기 화학식 1의 구리-글리신 복합물을 포함하는 배선용 잉크 조성물
|
2 |
2
제 1항에 있어서,
상기 구리-글리신 화합물을 용매에 용해시킨 것을 특징으로 하는 배선용 잉크 조성물
|
3 |
3
제 2항 있어서,
상기 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 펜탄올, 프로판올, 이소프로필알콜, 메틸렌 클로라이드, 톨루엔 및 아세톤, 또는 이들의 혼합물로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 배선용 잉크 조성물
|
4 |
4
제 1항에 있어서,
상기 배선용 잉크 조성물은 덮개리간드를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선용 잉크 조성물
|
5 |
5
제 4항에 있어서,
상기 덮개리간드는 헥사데칸, 테트라데칸, 헥사데실아민, 트리옥틸포스핀, 트리옥틸포스핀옥사이드, 디알리 말레이트 및 디알리 프탈레이트, 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 배선용 잉크 조성물
|
6 |
6
제 1항 내지 제5항에서 선택되는 어느 한 항의 구리 배선용 잉크조성물을 기재에 인쇄한 후 인쇄된 구리 배선용 잉크조성물을 열처리하여 구리-글리신 복합물로부터 구리 나노입자 배선을 형성시키는 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|
7 |
7
제 6항에 있어서,
상기 인쇄된 구리 배선용 잉크조성물의 열처리 온도는 100 ~ 300 ℃인 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|
8 |
8
제 7항에 있어서,
상기 인쇄된 구리 배선용 잉크조성물의 열처리 온도는 180 ~ 250 ℃인 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|
9 |
9
제 6항에 있어서,
상기 구리 배선용 잉크조성물에 포함된 용매를 먼저 100 ℃이하의 온도에서 휘발시킨 후, 구리-글리신 복합물을 열처리하는 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|
10 |
10
제 6항에 있어서,
상기 구리 배선용 잉크조성물의 열처리 단계에서 추가적인 용매, 덮개리간드, 또는 환원제를 가하지 않는 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|
11 |
11
제 6항에 있어서,
상기 구리 배선용 잉크조성물을 기재에 인쇄하는 잉크젯 인쇄방법인 것을 특징으로 하는 구리배선의 형성방법
|