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액적 크기 제어 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015139196
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액적 크기 제어 장치 및 방법에 관한 것으로서, 구체적으로 본 발명은 싸이클론을 액적분산장치에 결합시켜, 일측면에 액적 함유 운반기체 공급부(1)가 위치되고 상부에 미세액적 배출부(4)가 있으며 하부에서 싸이클론 장치(3)와 결합되고 내부 중앙에 축이 있어 여기에 액적 분산판(6)과 액적 충돌판(7)이 부착되어 있는 (이때 분산판은 공급된 액적이 통과할 수 있도록 적어도 하나 이상의 관통공(11)을 가지며, 충돌판은 액적의 유로를 싸이클론 장치로 유도하는 역할을 하며, 중앙축의 내부는 상기 배출부(4)와 연통되는 관이 형성되어 있다) 액적 분산 장치(2), 및 상기 액적 분산 장치와 격벽으로 분리되어 그의 하부에 위치되며 중앙 축에 의해 액적 분산 장치와 연결되고 저부에 거대 액적 유출부(9)를 갖춘 싸이클론 장치(3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 크기 제어 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 발생 액적의 크기를 수 미크론 이하로 제어할 수 있으며, 이와 같이 크기가 제어된 액적은 균일한 분포를 가진 미립자의 제조 및 디스플레이 및 반도체 공정에서의 박막 증착 및 에어로졸 에칭 등에 유리하게 사용할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/6715(2013.01)
출원번호/일자 1020020071875 (2002.11.19)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0497320-0000 (2005.06.16)
공개번호/일자 10-2004-0043560 (2004.05.24) 문서열기
공고번호/일자 (20050628) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.19)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강윤찬 대한민국 대전광역시유성구
2 정경열 대한민국 대전광역시유성구
3 강희상 대한민국 충청남도보령시
4 박희동 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 위정호 대한민국 경기도 성남시 중원구 양현로 ***, ***호 (여수동, 시티오피스타워)(J특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-0380866-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2004-0043361-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0478798-14
5 의견서
Written Opinion		 2005.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2005-0013689-06
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0013692-33
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0123969-23
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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일측면에 액적 함유 운반기체 공급부(1)가 위치되고 상부에 미세액적 배출부(4)가 있으며 하부에서 싸이클론 장치(3)와 결합되고 내부 중앙에 축이 있어 여기에 액적 분산판(6)과 액적 충돌판(7)이 부착되어 있으며, 이때 분산판은 공급된 액적이 통과할 수 있도록 적어도 하나 이상의 관통공(11)을 가지며, 충돌판은 액적의 유로를 싸이클론 장치로 유도하는 역할을 하며, 중앙축의 내부는 상기 배출부(4)와 연통되는 관이 형성되어 있는 액적 분산 장치(2), 및 상기 액적 분산 장치와 격벽으로 분리되고 그의 하부에 위치되며 중앙 축에 의해 액적 분산 장치와 연결되고 저부에 거대 액적 유출부(9)를 갖춘 싸이클론 장치(3)를 포함하는 액적 크기 제어 장치
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제 1항에 있어서, 분산판이 유입부와 대향하도록 설치되고, 충돌판은 액적이 포함된 운반기체의 유로에서 볼 때 싸이클론 장치 공급부 뒤에 설치되어 액적이 포함된 운반기체가 싸이클론 장치로 유동되도록 하는 것을 특징으로 하는 액적 크기 제어 장치
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제 1 항에 있어서, 싸이클론 장치가 하부로 내려가면서 점차 축관되는 구조를 가짐을 특징으로 하는 액적 크기 제어 장치
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제 1 항에 있어서, 관통공이 100㎛∼10㎜ 범위의 직경을 가짐을 특징으로 하는 액적 크기 제어 장치
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액적분무장치에서 발생된 액적을 함유하는 운반기체를 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 액적 크기 제어 장치의 액적 함유 운반기체 공급부(1)에 도입하여 액적의 크기를 5 내지 15 미크론 범위로 제어하는 방법
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제 5 항에 있어서, 액적 분무장치가 초음파, 공기 노즐 및 초음파 노즐 액적 발생 장치 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 액적 크기 제어 방법
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제 5 항에 있어서, 액적 크기제어 장치의 저부에서 유출된 액체를 상기 액적 분무장치로 재순환시키는 것을 특징으로 하는 액적 크기 제어 방법
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9 8
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