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전구체를 이용한 CIS 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015139255
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요약 본 발명은 태양전지 광흡수층용 CuInSe2 박막의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게, a) 하기 화학식 1의 구리 아미노알콕사이드, 하기 화학식 2의 인듐 아미노알콕사이드, 셀레늄 분말을 이용하여 CuInSe2 나노입자를 제조하는 단계; b) 상기 CuInSe2 나노입자를 함유하는 코팅액을 몰리브덴(Mo) 막이 형성된 유리 기판의 몰리브덴 막 상에 상압 도포하여 코팅층을 형성하는 단계; 및 c) 상기 코팅층이 형성된 유리 기판을 열처리하여 CuInSe2 박막을 형성하는 단계;를 포함하여 수행된다.(상기 화학식 1에서, m은 1 내지 3 범위의 정수이고; R 및 R'은 독립적으로 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬기다.)(화학식 2)In[O-A-NR1R2]2[NR32](상기 화학식 2에서, A는 C2-C5의 알킬렌이고; 상기 A는 하나 이상의 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1 및 R2는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이고; R3는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 트리(C1-C5)알킬실릴기이다.)
Int. CL H01L 31/0216 (2014.01) H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01)
출원번호/일자 1020110013259 (2011.02.15)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1124226-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120327) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.15)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
2 최하나 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
3 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
4 정석종 대한민국 대전광역시 유성구
5 류병환 대한민국 대전광역시 서구
6 김창균 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에프비존 경기도 용인시 처인구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0107151-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0094718-14
4 등록결정서
Decision to grant
2012.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0109767-10
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 하기 화학식 1의 구리 아미노알콕사이드, 하기 화학식 2의 인듐 아미노알콕사이드 및 셀레늄 분말을 이용하여 CuInSe2 나노입자를 제조하는 단계;b) 상기 CuInSe2 나노입자를 함유하는 코팅액을 몰리브덴(Mo) 막이 형성된 유리 기판의 몰리브덴 막 상에 상압 도포하여 코팅층을 형성하는 단계; 및c) 상기 코팅층이 형성된 유리 기판을 열처리하여 CuInSe2 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 태양전지 광흡수층용 CuInSe2 박막의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 a) 단계는a1) 셀레늄 분말, 계면활성제 및 제1용매를 함유하는 제1용액을 교반하며 230 내지 250℃의 온도로 가열하는 단계; 및a2) 가열된 제1용액에 상기 구리 아미노알콕사이드, 인듐 아미노알콕사이드 및 제2용매를 함유하는 제2용액을 주입하여 교반하는 단계;를 포함하는 CuInSe2 박막의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 a2) 단계에서 상기 제1용액의 셀레늄 : 상기 제2용액의 구리 : 제2용액의 인듐의 몰비는 2 : 1 : 1인 CuInSe2 박막의 제조방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 계면활성제는 헥사데실아민이며, 상기 제1용매는 헥사데칸, 상기 제2용매는 톨루엔인 CuInSe2 박막의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 b) 단계의 상기 코팅액은 상기 CuInSe2 나노입자를 30 내지 50 중량% 함유하는 톨루엔인 CuInSe2 박막의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 b) 단계의 상기 코팅액은 하기의 화학식 4의 주석 아미노알콕사이드를 더 함유하는 CuInSe2 박막의 제조방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 b) 단계의 상기 코팅액은 상기 CuInSe2 나노입자 100 중량부에 대해 5 내지 15 중량부의 상기 주석 아미노알콕사이드를 함유하는 CuInSe2 박막의 제조방법
8 8
제 1항에 있어서,상기 b) 단계의 상기 유리는 소다회 유리인 CuInSe2 박막의 제조방법
9 9
제 8항에 있어서,상기 b) 단계의 상기 도포는 닥터 블레이드, 스프레이 코팅, 딥 코팅, 스핀 코팅, 드랍-와이즈 코팅 및 실크 스크린에서 선택된 하나 이상의 방법으로 수행되는 CuInSe2 박막의 제조방법
10 10
제 8항에 있어서,상기 c) 단계의 열처리는 300 내지 600℃에서 수행되는 CuInSe2 박막의 제조방법
11 11
제 1항 내지 제10항에서 선택된 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 CuInSe2 박막을 광흡수층으로 포함하는 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 금속 전구체 개발
2 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
3 지식경제부 한국화학연구원 협동연구사업 용액화학기반형 저가/고효율 CIGS 박막 태양전지 소재 및 잉크 기술개발