맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

신규의 탄탈 화합물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015139274
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규의 탄탈 전구체인 탄탈 화합물로 금속과 결합하는 알콕사이드의 산소에 대하여 α-탄소 위치에 비극성 알킬기가 결합해 있어 유기 용매에 대한 친화성이 높고 휘발성과 열안정성이 뛰어나 우수한 탄탈을 포함하는 막을 얻을 수 있다.
Int. CL C07F 9/00 (2006.01) C07C 211/65 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01)
CPC C07F 9/00(2013.01) C07F 9/00(2013.01) C07F 9/00(2013.01)
출원번호/일자 1020100120197 (2010.11.30)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0058762 (2012.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 포기
심사진행상태 포기
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.30)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
6 박보근 대한민국 강원도 원주시 남원로***번길
7 민재기 대한민국 경기도 부천시 원미구
8 김효숙 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.11.30 포기 (Abandonment) 1-1-2010-0785606-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.03.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0022243-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0405158-91
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0736818-44
6 [특허 등 절차 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2012.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0830251-40
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 탄탈 화합물
2 2
제 1항에 있어서,하기 화학식 2 으로 표시되는 탄탈 화합물
3 3
제 1항에 있어서, 하기 화학식 3으로 표시되는 탄탈 화합물
4 4
제 1항에 있어서,상기 R1은 CH3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3, Si(CH3)3, Si(C2H5)3 및 Si(CH3)2(C2H5)로부터 선택되며; R2 및 R3은 서로 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되며; R4는 F, Cl, Br, I, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되는 탄탈 화합물
5 5
제 1항에 있어서, 하기 화합물로부터 선택되는 것을 포함하는 탄탈 화합물
6 6
하기 화학식 4로 표시되는 탄탈 화합물과 화학식 5로 표시되는 금속 아미노 알콕사이드를 반응시켜 화학식 1-1의 탄탈 화합물을 제조하는 방법
7 7
하기 화학식 1-1로 표시되는 탄탈 화합물과 화학식 6으로 표시되는 알킬금속을 반응시켜 화학식 1-2의 탄탈 화합물을 제조하는 방법
8 8
제 1항 내지 제 5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 탄탈 화합물을 전구체로 사용하여 탄탈을 포함하는 박막을 성장시키는 방법
9 9
제 8항에 있어서,유기금속 화학기상 증착(MOCVD) 또는 원자층 증착(ALD)으로 수행되는 탄탈을 포함하는 박막을 성장시키는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성