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불화가스 분리농축장치 및 이를 이용한 불화가스의 분리농축방법

  • 기술번호 : KST2015139305
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불화가스 분리농축장치 및 이를 이용한 불화가스의 분리농축방법에 관한 것으로, 상세하게는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부; 상기 가스공급부로부터 공급되는 혼합가스의 유량을 제어하는 유입량제어부; 상기 유입량제어부를 통해 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 1 또는 그 이상 직렬연결된 분리부; 상기 분리부의 투과구와 연결되되, 상기 분리부 내부를 감압시켜 분리막 모듈 내부로 가스가 주입 및 분리되는 구동력을 발생시키는 감압부; 및 상기 분리부의 배출구와 연결되되, 상기 분리부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량제어부를 포함하는 불화가스 분리농축장치를 제공한다. 본 발명에 따른 불화가스 분리농축장치 및 이를 이용한 불화가스의 분리방법은 분리막을 이용하여 불화가스를 처리하는 종래의 가압방식보다 더욱 높은 불화가스 분리·농축 효율을 나타낼 수 있다. 또한, 불화가스의 분리가 수행되는 분리막 모듈의 압력을 일정하게 유지하여 대형화에 따른 효율저하 문제가 없으며, 가압부로 인하여 불화가스가 배출되는 공정에 악영향을 주는 문제를 방지할 수 있다.
Int. CL B01D 69/08 (2006.01) B01D 71/68 (2006.01) B01D 63/02 (2006.01) B01D 61/00 (2006.01)
CPC B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110072527 (2011.07.21)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1275774-0000 (2013.06.11)
공개번호/일자 10-2013-0011393 (2013.01.30) 문서열기
공고번호/일자 (20130617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박유인 대한민국 대전광역시 유성구
2 김범식 대한민국 대전광역시 유성구
3 서정권 대한민국 대전광역시 유성구
4 남승은 대한민국 대전광역시 유성구
5 박아름이 대한민국 서울특별시 영등포구
6 권순일 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0564442-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0047698-32
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0570388-11
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0973489-63
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-1071418-54
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0073920-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0073919-74
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0343507-24
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 또는 LCD 제조공정부에 연결되어, 반도체 또는 LCD 제조공정에서 발생하는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부;상기 가스공급부로부터 공급되는 혼합가스의 유량을 제어하는 유입량제어부;상기 유입량제어부를 통해 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 1 또는 그 이상 직렬연결된 분리부; 상기 분리부의 투과구와 연결되되, 상기 분리부 내부를 감압시켜 분리막 모듈 내부로 가스가 주입 및 분리되는 구동력을 발생시키는 감압부; 및 상기 분리부의 배출구와 연결되되, 상기 분리부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량제어부를 포함하고, 상기 혼합가스의 공급, 분리막 모듈 내부로의 주입 및 분리의 구동력은 상기 감압부에 의해서만 발생하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 분리막 모듈은 중공사형 분리막(hollow fiber membrane)을 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 중공사형 분리막은 폴리설폰, 카본(carbon), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에스테르(polyester), 폴리에스터카보네이트(polyestercarbonate), 폴리에스터설폰(polyestersulfone), 폴리아미드(polyamide) 또는 폴리페닐린(polyphenylene) 재질인 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축장치
4 4
제1항에 있어서, 1 또는 그 이상의 분리부가 병렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축장치
5 5
반도체 또는 LCD 제조공정부에 연결되어, 반도체 또는 LCD 제조공정에서 발생하는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부;상기 가스공급부로부터 공급되는 혼합가스의 유량을 제어하는 유입량제어부;상기 유입량제어부를 통해 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 1 또는 그 이상 병렬연결된 분리부; 상기 분리부의 투과구와 연결되어, 상기 분리부 내부를 감압시킴으로써 분리막 모듈 내부로 혼합가스가 주입 및 분리되는 구동력을 발생시키는 감압부; 및 상기 분리부의 배출구와 연결되되, 상기 분리부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량제어부를 포함하고, 상기 혼합가스의 공급, 분리막 모듈 내부로의 주입 및 분리의 구동력은 상기 감압부에 의해서만 발생하고,상기 유입량제어부, 분리부 및 감압부 일체가 둘 이상 직렬로 연결된 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축시스템
6 6
제5항에 있어서, 상기 불화가스 분리농축시스템은 분리부을 투과한 투과가스로부터 불화가스를 더욱 분리농축하기 위한 투과가스 분리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축시스템
7 7
제5항에 있어서, 상기 불화가스 분리농축시스템은 분리부을 투과한 투과가스로부터 불화가스를 더욱 분리농축하기 위해 흡착부(absorption member)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축시스템
8 8
제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 불화가스 분리농축시스템은 분리부의 배출구에 연결되는 하나 이상의 감압펌프 또는 블로워(blower)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리농축시스템
9 9
불화가스를 포함하는 혼합가스를 제5항에 따른 불화가스 분리농축시스템으로 공급하여 분리농축하는 단계(단계 1); 및 상기 단계 1에서 불화가스가 분리농축된 비불화가스로부터 잔류 불화가스를 투과가스 분리부를 통해 더욱 분리농축하는 단계(단계 2)를 포함하는 불화가스 분리농축방법
10 10
불화가스를 포함하는 혼합가스를 제5항에 따른 불화가스 분리농축시스템으로 공급하여 분리농축하는 단계(단계 a); 및 상기 단계 a에서 불화가스가 분리농축된 비불화가스로부터 잔류 불화가스를 흡착부를 통해 더욱 분리농축하는 단계(단계 b)를 포함하는 불화가스 분리농축방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국화학연구원 에너지자원기술개발사업 저농도 폐 PFCs 농축 및 대형 Scruber 개발(1)