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불화가스 분리 및 농축장치, 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 농축방법

  • 기술번호 : KST2015139365
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불화가스 분리 및 농축장치 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 농축방법에 관한 것으로, 상세하게는 불화가스 회수장치 및 불화가스 분리장치를 포함하는 불화가스 분리 및 농축장치에 있어서, 상기 불화가스 회수장치는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되어 불화가스가 흡착되는 불화가스 흡착칼럼이 1 또는 그 이상 병렬 연결된 흡착부; 상기 흡착부와 연결되어 흡착된 불화가스를 회수하는 진공펌프; 및 상기 진공펌프에 의해 회수된 불화가스를 저장하는 저장탱크를 포함하고, 상기 불화가스 분리장치는 상기 불화가스 회수장치의 저장탱크를 포함하는 원료공급부; 상기 원료공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스와 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 1 또는 그 이상 구비된 분리부; 및 상기 분리부의 배출구와 연결되되, 상기 분리부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량 제어부를 포함하는 불화가스 분리 및 농축장치를 제공한다. 본 발명에 따른 불화가스 분리 및 농축장치는 공정의 폐가스로 배출되는 저압의 불화가스를 가압장치를 이용하지 않고 종래의 가압방식보다 더욱 높은 효율로 분리할 수 있다.
Int. CL B01D 53/02 (2006.01) B01D 63/02 (2006.01) B01D 53/68 (2006.01) C01B 7/19 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120080771 (2012.07.24)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1420082-0000 (2014.07.04)
공개번호/일자 10-2014-0014542 (2014.02.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.24)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남승은 대한민국 대전 유성구
2 박유인 대한민국 대전 유성구
3 김범식 대한민국 대전 유성구
4 서정권 대한민국 대전 유성구
5 박아름이 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0592170-23
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2012.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0632977-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0036179-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0893434-90
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0166588-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0166591-85
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0437691-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불화가스 회수장치 및 불화가스 분리장치를 포함하는 불화가스 분리 및 농축장치에 있어서,상기 불화가스 회수장치는 반도체 또는 LCD 제조공정부에 연결되어, 반도체 또는 LCD 제조공정에서 발생하는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부;상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되어 불화가스가 흡착되는 불화가스 흡착칼럼이 1 또는 그 이상 병렬 연결된 흡착부;상기 흡착부와 연결되어 흡착된 불화가스를 회수하는 진공펌프; 및상기 진공펌프에 의해 회수된 불화가스를 저장하는 저장탱크를 포함하고,상기 불화가스 분리장치는상기 불화가스 회수장치의 저장탱크를 포함하는 원료공급부;상기 원료공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스와 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 1 또는 그 이상 구비된 분리부; 상기 분리부의 투과구와 연결되되, 상기 분리부 내부를 감압시키는 감압부; 및 상기 분리부의 배출구와 연결되되, 상기 분리부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량 제어부를 포함하며,상기 혼합가스의 주입과, 상기 불화가스의 분리 및 농축의 구동력은 상기 진공펌프 또는 감압부에 의해서만 발생하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 불화가스 회수장치의 불화가스 흡착칼럼은 활성탄 또는 제올라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 불화가스 분리장치의 분리막은 중공사형 분리막(hollow fiber membrane)인 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 중공사형 분리막은 폴리설폰, 카본(carbon), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에스테르(polyester), 폴리에스터카보네이트(polyestercarbonate), 폴리에스터설폰(polyestersulfone), 폴리아미드(polyamide) 또는 폴리페닐린(polyphenylene) 재질인 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 불화가스 회수장치는 불화가스의 흡착 및 탈착을 반복수행하기 위하여, 흡착부 및 진공펌프 복수개가 직렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 불화가스 분리장치의 분리막 모듈은 1 또는 그 이상이 병렬 연결되는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축장치
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 따른 불화가스 분리 및 농축장치를 이용하여 불화가스를 분리 및 농축하는 방법에 있어서, 불화가스를 포함하는 혼합가스를 제 1 항에 따른 불화가스 회수 장치로 공급하여 불화가스를 흡착·분리한 후, 이를 회수하여 저장하는 단계(단계 1); 및 상기 단계 1에서 분리 및 회수되어 저장된 불화가스를, 불화가스 분리장치로 공급하여 불화가스를 농축하는 단계(단계 2);를 포함하는 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 불화가스는 육불화황(SF6) 또는 과불화탄소(perfluorocarbon, PFC)인 것을 특징으로 하는 불화가스 분리 및 농축방법
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국화학연구원 에너지자원기술개발사업 저농도 폐 PFCs 농축 및 대형 Scruber 개발(2)