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분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치, 및 이를 이용한 불화가스 농축 및 회수방법

  • 기술번호 : KST2015139389
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 분리막을 이용하여 불화가스 농축 및 회수장치 및 이를 이용한 불화가스 농축 및 회수방법을 제공하는 데 있다.이를 위하여 본 발명은 상기 불화가스 농축장치는 상기 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 하나 또는 그 이상 포함된 농축부; 상기 분리막 모듈의 투과구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 비불화가스가 투과되는 구동력을 제공하는 감압펌프; 및 상기 분리막 모듈의 배출구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출유량 제어부를 포함하고, 상기 불화가스 회수장치는 상기 불화가스 농축장치와 동일한 구조의 분리막 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치를 제공한다. 본 발명에 따르면 회수장치를 통해 손실된 불화가스를 재회수함으로써 불화가스를 효율적으로 농축 및 회수할 수 있다.
Int. CL B01D 69/08 (2006.01) B01D 63/02 (2006.01) B01D 61/00 (2006.01) C01B 7/19 (2006.01)
CPC B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01) B01D 63/02(2013.01)
출원번호/일자 1020120102197 (2012.09.14)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1420767-0000 (2014.07.11)
공개번호/일자 10-2014-0035665 (2014.03.24) 문서열기
공고번호/일자 (20140717) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남승은 대한민국 대전 유성구
2 박유인 대한민국 대전 유성구
3 김범식 대한민국 대전 유성구
4 서정권 대한민국 대전 유성구
5 박아름이 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0745446-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0066268-48
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0909462-88
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0166057-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0166058-61
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0445960-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불화가스 농축장치 및 불화가스 회수장치를 포함하는 불화가스 농축 및 회수장치에 있어서,상기 불화가스 농축장치는반도체 또는 LCD 제조공정부에 연결되어, 반도체 또는 LCD 제조공정에서 발생하는 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부;상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 하나 또는 그 이상 포함된 농축부;상기 분리막 모듈의 투과구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 비불화가스가 투과되는 구동력을 제공하는 감압펌프; 및상기 분리막 모듈의 배출구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출유량 제어부를 포함하고,상기 불화가스 회수장치는 상기 농축부의 투과구로부터 배출되는 비불화가스가 주입되는 주입구, 상기 주입된 비불화가스로부터 불화가스가 회수되는 분리막, 상기 분리막을 투과한 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 회수된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 하나 또는 그 이상 포함된 회수부; 상기 회수부의 투과구와 연결되되, 상기 회수부 내부를 감압시키는 감압부; 및상기 회수부의 배출구와 연결되되, 상기 회수부로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출유량 제어부를 포함하며,상기 혼합가스의 주입과, 상기 불화가스의 농축 및 회수의 구동력은 상기 감압펌프 및 감압부에 의해서만 발생하는 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 불화가스 농축장치의 분리막은 중공사형 분리막(hollow fiber membrane)인것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 중공사형 분리막은 폴리설폰(polysulfone), 카본(carbon), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에스테르(polyester), 폴리에스터카보네이트(polyestercarbonate), 폴리에스터설폰(polyestersulfone), 폴리아미드(polyamide) 및 폴리페닐린(polyphenylene)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 재질인 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 불화가스 회수장치의 분리막은 중공사형 분리막(hollow fiber membrane)인것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 중공사형 분리막은 폴리설폰(polysulfone), 카본(carbon), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에스테르(polyester), 폴리에스터카보네이트(polyestercarbonate), 폴리에스터설폰(polyestersulfone), 폴리아미드(polyamide) 및 폴리페닐린(polyphenylene)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 재질인 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 농축부 및 회수부는 하나 또는 그 이상의 분리막 모듈이 병렬연결되는 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 농축부 및 회수부는 하나 또는 그 이상의 분리막 모듈이 직렬연결되는 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
8 8
삭제
9 9
제 1 항에 따른 불화가스 농축 및 회수장치를 이용하여 불화가스를 농축 및 회수하는 방법에 있어서, 불화가스를 포함하는 혼합가스를 불화가스 농축 장치로 공급하여 분리농축하는 단계(단계 1); 및 상기 단계 1에서 불화가스가 분리농축된 비불화가스로부터 잔류 불화가스를 불화가스 회수장치를 통해 회수하는 단계(단계 2);를 포함하는 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 불화가스는 육불화황(SF6) 또는 과불화탄소(perfluorocarbon, PFC)인 것을 특징으로 하는 분리막을 이용한 불화가스 농축 및 회수장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국화학연구원 에너지자원기술개발사업 저농도 폐 PFCs 농축 및 대형 Scruber 개발(2)