요약 | 본 발명은 몰리브데넘 화합물에 관한 것으로, 상기 화합물은 열적으로 안정하고, 휘발성이 높아 이를 이용하여 몰리브데넘 칼코게나이드를 포함하는 양질의 박막을 얻을 수 있다. |
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Int. CL | C23C 16/06 (2006.01) C07F 11/00 (2006.01) |
CPC | C07F 11/005(2013.01) C07F 11/005(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130121985 (2013.10.14) |
출원인 | 한국화학연구원 |
등록번호/일자 | 10-1505125-0000 (2015.03.17) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20150324) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.10.14) |
심사청구항수 | 6 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국화학연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박보근 | 대한민국 | 강원 원주시 남원로***번길 * |
2 | 김창균 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 정택모 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 전동주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
5 | 여소정 | 대한민국 | 대전 유성구 |
6 | 이영국 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국화학연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0925601-67 |
2 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.03.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0176466-46 |
3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149242-13 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149265-52 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 하기 화학식 1로 나타내는 몰리브데넘 화합물 |
2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1의 R1은 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종이고, 상기 R2는 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 몰리브데넘 화합물 |
3 |
3 하기 화학식 2 및 화학식 3의 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 몰리브데넘 화합물의 제조 방법 |
4 |
4 청구항 3에 있어서, 상기 반응은 유기용매에서 이루어지며, 상기 유기용매는 톨루엔 또는 테트라하이드로퓨란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 몰리브데넘 화합물의 제조 방법 |
5 |
5 청구항 1의 화학식 1의 몰리브데넘 화합물을 이용하여 금속 박막을 성장 시키는 방법 |
6 |
6 청구항 5에 있어서, 상기 박막 성장 공정은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막을 성장 시키는 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | KR101505126 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | WO2015056944 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 교육과학기술부 | 한국화학연구원 | 미래기반기술개발사업 | CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성 |
2 | 미래창조과학부 | 한국화학연구원 | 기관고유사업 | 금속-칼코겐 풀러렌 혼성 물질 개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-1505125-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20131014 출원 번호 : 1020130121985 공고 연월일 : 20150324 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150316 청구범위의 항수 : 6 유별 : C07F 11/00 발명의 명칭 : 몰리브데넘 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국화학연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 139,500 원 | 2015년 03월 18일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2018년 01월 29일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 86,000 원 | 2019년 03월 12일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0925601-67 |
2 | 등록결정서 | 2015.03.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0176466-46 |
3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149242-13 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149265-52 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1711005214 |
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세부과제번호 | 2010-50169 |
연구과제명 | CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 200907~201406 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1711009170 |
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세부과제번호 | KK-1307-B0 |
연구과제명 | 창의형 연구사업(미래 연구역량 기반 확보사업) |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201301~201312 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | 기타 |
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