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기재 필름; 상기 기재 필름의 일면에 형성된, 패턴화된 그래핀계 층을 포함하는 그래핀 센서부; 및 상기 기재 필름의 타면에 형성된, 패턴화된 그래핀계 층을 포함하는 그래핀 히터부를 포함하되,상기 그래핀 센서부의 그래핀계 층과 그래핀 히터부의 그래핀계 층이 서로 수직 또는 수평으로 정렬된 라인 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부의 그래핀계 층이 소프트 리소그라피에 의해 패턴화된 것임을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 히터부의 그래핀계 층의 패턴화가 소프트 리소그라피에 의한 것임을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 2 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 소프트 리소그라피가, 상기 기재 필름과는 다른 기재 상에 그래핀계 층을 형성한 후, 표면에 양각 패턴을 갖는 폴리디메틸실록산(PDMS) 재질의 스템프를 상기 그래핀계 층에 접촉시켜 양각 패턴 부분에 접착되는 그래핀계 층을 선택적으로 박리시킨 다음, 상기 기재 필름에 대해 상기 스템프를 접촉시켜 상기 그래핀계 박리층을 재도포하는 것임을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부 및 히터부의 그래핀계 층이 각각 그래핀 만으로 이루어지거나, 유기물 또는 무기물과 그래핀과의 복합체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 6 항에 있어서, 상기 무기물이 Au, Co, Ni, Fe, Pt, Pd, Al, Cr, Mg, Mn Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(Brass), 백동, 청동(Bronze), 스테인레스 스틸 및 Ge로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금이거나, 또는 ZnO, SnO, TiO2 및 MnO로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속산화물인 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부 및 히터부의 그래핀계 층이 각각 도펀트에 의해 도핑 또는 기능화되는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 8 항에 있어서, 상기 도펀트가 NO2BF4, NOBF4, NO2SbF6, HCl, H2PO4, H3CCOOH, H2SO4, HNO3, PVDF, 나피온(Nafion), AuCl3, SOCl2, Br2, CH3NO2, 디클로로디시아노퀴논, 옥손, 디미리스토일포스파티딜이노시톨 및 트리플루오로메탄술폰이미드로 이루어진 군으로부터 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부 및 상기 그래핀 히터부의 그래핀계 층이 각각 0
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부의 그래핀계 층이 500nm 내지 1000㎛의 패턴 선폭을 갖는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 센서부가 상기 그래핀계 층의 양쪽 가장자리에 한 쌍의 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 히터부의 그래핀계 층이 500nm 내지 1000㎛의 패턴 선폭을 갖도록 패턴화되는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 히터부가 상기 그래핀계 층의 양쪽 가장자리에 한 쌍의 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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제 12 항에 있어서, 상기 그래핀 가스센서가 상기 그래핀 센서부를 구성하는 전극 및 그래핀계 층 상에 센서부 보호층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 가스센서
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