| 1 |
1
알루미늄 산화물 주촉매 및 상기 주촉매 표면에 담지되는 조촉매로서, 알루미늄 산화물 주촉매 1 중량에 대해 0
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 알루미늄 산화물은 감마-알루미나(γ-Al2O3), 감마-일수화보헤마이트(γ-AlO(OH)), 감마-삼수화알루미나(γ-Al(OH)3), 델타-알루미나(δ-Al2O3), 델타-일수화 보헤마이트(δ-AlO(OH)), 델타-삼수화 알루미나(δ-Al(OH)3), 에타-알루미나(η-Al2O3), 에타-일수화 보헤마이트(η-AlO(OH)) 및 에타-삼수화 알루미나(η-Al(OH)3)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 과불화 화합물 분해용 촉매
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 과불화 화합물 분해용 촉매는 할로겐족 산성가스가 함유된 공정에서의 과불화 화합물을 분해하는 것을 특징으로 하는 과불화 화합물 분해용 촉매
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 공정은 반도체 제조공정 또는 LCD 제조공정인 것을 특징으로 하는 과불화 화합물 분해용 촉매
|
| 5 |
5
알루미늄 산화물 1 중량대비 0
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 단계 2의 담지는 단계 1에서 제조된 전구체 용액을 알루미늄 산화물 위에 분무 건조시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 제조방법
|
| 7 |
7
제5항에 있어서, 상기 단계 2의 담지는 단계 1에서 제조된 전구체 용액에 알루미늄 산화물을 첨가한 후, 상온에서 1차 건조, 100 ℃이상에서 2차 건조 및 400-600 ℃ 공기 분위기 하에서 소성하여 3차 건조시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 제조방법
|
| 8 |
8
제5항에 있어서, 상기 루테늄을 포함하는 화합물은 루테늄 아세틸아세테이트(Ru(acac)3), 루테늄클로라이드(RuCl3), 루테늄아이오다이드(RuI3), 루테늄나이트로실나이트레이트(Ru(NO3)NO) 및 루테늄옥사이드(RuO2·H2O)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 제조방법
|
| 9 |
9
제5항에 있어서, 상기 인을 포함하는 화합물은 디암모늄하이드로포스페이트((NH4)2HPO4), 암모늄디하이드로포스페이트(NH4H2PO4) 및 인산(H3PO4)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 제조방법
|
| 10 |
10
제5항에 있어서, 상기 알루미늄 산화물은 감마-알루미나(γ-Al2O3), 감마-일수화보헤마이트(γ-AlO(OH)), 감마-삼수화알루미나(γ-Al(OH)3), 델타-알루미나(δ-Al2O3), 델타-일수화 보헤마이트(δ-AlO(OH)), 델타-삼수화 알루미나(δ-Al(OH)3), 에타-알루미나(η-Al2O3), 에타-일수화 보헤마이트(η-AlO(OH)) 및 에타-삼수화 알루미나(η-Al(OH)3)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 제조방법
|
