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신규의 프라세오디뮴 화합물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015139880
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1의 프라세오디뮴 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성된 프라세오디뮴 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 프라세오디뮴 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.[화학식 1]Pr[N(Si(CH3)3)2]x[O-A-N(R3)-B-NR1R2]3-x[상기 식에서 A는 C2-C5의 알킬렌이고; B는 C1-C4의 알킬렌이고; 상기 A 및 B는 하나 이상의 C1-C5의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1, R2 및 R3는 서로 독립적으로 H 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이고, x는 0 내지 1의 정수이다.]프라세오디뮴 산화물 선구 물질, 프라세오디뮴 산화물, 박막, MOCVD
Int. CL C07F 5/00 (2006.01) C07F 19/00 (2006.01) C07F 7/10 (2006.01)
CPC C07F 19/00(2013.01) C07F 19/00(2013.01) C07F 19/00(2013.01)
출원번호/일자 1020060031630 (2006.04.06)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0695571-0000 (2007.03.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070314) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영국 대한민국 대전 유성구
2 김창균 대한민국 대전 유성구
3 정택모 대한민국 대전 유성구
4 안기석 대한민국 대전 유성구
5 이선숙 대한민국 대전 중구
6 박미현 대한민국 서울 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2006-0242485-38
2 등록결정서
Decision to grant
2007.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0111266-99
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 프라세오디뮴 산화물 선구 물질:[화학식 1]Pr[N(Si(CH3)3)2]x[O-A-N(R3)-B-NR1R2]3-x[상기 식에서 A는 C2-C5의 알킬렌이고; B는 C1-C4의 알킬렌이고; 상기 A 및 B는 하나 이상의 C1-C5의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1, R2 및 R3는 서로 독립적으로 H 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이고, x는 0 내지 1의 정수이다
2 2
제 1항에 있어서,하기 화학식 2로 표시되는 프라세오디뮴 산화물 선구 물질
3 3
제 2항에 있어서,상기 식에서 R1, R2, R3, R4 및 R5는 서로 독립적으로 H, CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 프라세오디뮴 산화물 선구 물질
4 4
하기 화학식 3의 프라세오디뮴 화합물과 하기 화학식 4의 알칼리 금속 염 화합물을 반응시켜 얻어진 하기 화학식 5의 화합물을 하기 화학식 6의 알코올 화합물과 반응시키는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 프라세오디뮴 산화물 선구 물질의 제조방법
5 5
제 1항에 따른 프라세오디뮴 산화물 선구 물질을 사용하여 프라세오디뮴 산화물을 성장시키는 방법
6 6
제 5항에 있어서,프라세오디뮴 산화물을 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.