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산소와마그네슘이일대일의비로들어있는마그네슘유도체를사용하여산화마그네슘을기질위에피막하는방법

  • 기술번호 : KST2015139940
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원 발명은 반응성의 운반 기체를 사용하지 않고도 지금까지 알려진 방법보다 더 낮거나 같은 온도에서 탄소의 혼입이 거의 없는 결정성의 산화마그네슘 막을 화학 증착하기 이하여 산소와 마그네슘이 일대일의 비로 들어 있고 산소와 마그네슘이 직접 결합해 있고 화학적인 작용에 의해 산화마그네슘을 생성하고 남은 원소들이 막에 잔류하지 않고 쉽게 제거되는 마그네슘 유도체를 화학 증착의 선구 물질로 사용하는 것이다.
Int. CL C01F 5/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019950019528 (1995.07.04)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0139840-0000 (1998.03.06)
공개번호/일자 10-1997-0006168 (1997.02.19) 문서열기
공고번호/일자 (19990218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.07.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 고원용 대한민국 대전광역시유성구
3 고수진 대한민국 대구광역시달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이돈상 대한민국 경기도 용인시 기흥구 흥덕*로***번길 ** (영덕동, 흥덕마을*단지자연앤스위첸아파트) ***동 ***호(이돈상국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국화학연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.07.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0083055-85
2 특허출원서
Patent Application		 1995.07.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0083054-39
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.07.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0083056-20
4 등록사정서
Decision to grant		 1998.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0043152-72
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009784-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0089084-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0007135-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056800-64
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056808-28
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1

산소와 마그네슘이 일대일의 비로 들어 있고 산소와 마그네슘이 직접 결합해 있고 화학적인 작용에 의해 산화마그네슘을 생성하고 남은 원소들이 막에 잔류하지 않고 쉽게 제거되는 마그네슘 유도체를 기질 위에서 반응시켜 산화마그네슘을 기질 위에 피막하는 방법

2 2

제1항에 있어서, 마그네슘 유도체가 알킬산알킬마그네슘임을 특징으로 하는 산화마그네슘을 기질 위에 피막하는 방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 마그네슘 유도체가 승화성 마그네슘 유도체임을 특징으로 하는 산화마그네슘을 기질 위에 피막하는 방법

4 4

제2항에 있어서, 알킬산알킬마그네슘이 승화성 알킬산알킬마그네슘임을 특징으로 하는 산화마그네슘을 기질 위에 피막하는 방법

5 5

제1항에 있어서, 기질이 규소 단결정, 비소화갈륨 단결정임을 특징으로 하는 산화마그네슘을 기질 위에 피막하는 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP00836654 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP00836654 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP03101880 JP 일본 FAMILY
4 JP10510326 JP 일본 FAMILY
5 US05955146 US 미국 FAMILY
6 WO1997002368 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CA2225620 CA 캐나다 DOCDBFAMILY
2 CA2225620 CA 캐나다 DOCDBFAMILY
3 DE69617243 DE 독일 DOCDBFAMILY
4 DE69617243 DE 독일 DOCDBFAMILY
5 EP0836654 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 EP0836654 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
7 JP10510326 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 JP3101880 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 JPH10510326 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 US5955146 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO9702368 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
12 WO9702368 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.