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탄소나노튜브-그래핀 하이브리드 박막, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 투명전극 및 전계효과트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015139980
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀막에 증착된 복수의 탄소나노튜브들을 포함하는 박막으로서 상기 복수의 탄소나노튜브들이 상기 그래핀 막에 평면 상으로 배열되는 탄소나노튜브-그래핀 하이브리드 박막은, 우수한 투명성 및 면저항을 가지며, 스핀 코팅 등의 간편한 공정에 의해 제조될 수 있으므로, 투명전극 및 전계효과트랜지스터 등의 분야에 유용하다.
Int. CL H01B 5/00 (2006.01) H01L 29/772 (2006.01) H01B 1/04 (2006.01)
CPC C01B 32/158(2013.01) C01B 32/158(2013.01) C01B 32/158(2013.01) C01B 32/158(2013.01) C01B 32/158(2013.01)
출원번호/일자 1020140040094 (2014.04.03)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1598492-0000 (2016.02.23)
공개번호/일자 10-2015-0115298 (2015.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20160229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.03)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
2 명성 대한민국 서울특별시 관악구
3 임종선 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 김성호 대한민국 인천광역시 연수구
6 송우석 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0322583-35
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0499590-31
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0928083-00
4 등록결정서
Decision to grant
2016.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0082341-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그래핀막, 및 상기 그래핀막에 증착된 복수의 탄소나노튜브(CNT)들을 포함하는 박막으로서, 상기 박막이 550nm 파장에 대해 95% 이상의 광투과도를 갖고 500Ω/sq 이하의 면저항을 가지며, 상기 복수의 CNT들이 상기 그래핀막에 평면 상으로 배열된, CNT-그래핀 하이브리드 박막
2 2
제 1 항에 있어서,상기 복수의 CNT들이, 이들의 축의 정렬 각도에 있어서 0° 내지 20°의 표준편차를 갖는 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막
3 3
제 2 항에 있어서,상기 복수의 CNT들의 축의 정렬 각도의 표준편차가 0° 내지 15°인 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막
4 4
제 1 항에 있어서,상기 그래핀막이 단일층 그래핀막인 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 CNT-그래핀 하이브리드 박막이, 550nm 파장에 대해 96
7 7
제 1 항에 있어서,상기 CNT-그래핀 하이브리드 박막이, CNT 분산 용액을 기판 상에 스핀 코팅하고 그 위에 그래핀을 증착하여 수득되는 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막
8 8
(a) 탄소나노튜브(CNT) 분산 용액을 기판 상에 스핀 코팅하는 단계, 및(b) 수득된 CNT 코팅막 상에 그래핀을 증착하는 단계를 포함하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막의 제조방법으로서,상기 CNT-그래핀 하이브리드 박막이 그래핀막, 및 상기 그래핀막에 증착된 복수의 탄소나노튜브(CNT)들을 포함하고, 550nm 파장에 대해 95% 이상의 광투과도를 갖고 500Ω/sq 이하의 면저항을 가지며, 상기 복수의 CNT들이 상기 그래핀막에 평면 상으로 배열된, CNT-그래핀 하이브리드 박막의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서,단계 (a)에서, 상기 스핀 코팅이 1000 내지 5000 rpm 조건으로 수행되는 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막의 제조방법
10 10
제 9 항에 있어서,단계 (a)에서, 상기 스핀 코팅이 2000 내지 4000 rpm 조건으로 수행되는 것을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막의 제조방법
11 11
제 8 항에 있어서,단계 (b)에서, 상기 그래핀의 증착이, 상기 CNT 코팅막 상에 열화학기상증착법(thermal CVD)에 의해 그래핀을 합성하는 것임을 특징으로 하는, CNT-그래핀 하이브리드 박막의 제조방법
12 12
제 1 항 내지 제 4 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항의 CNT-그래핀 하이브리드 박막을 포함하는, 투명전극
13 13
제 1 항 내지 제 4 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항의 CNT-그래핀 하이브리드 박막을 포함하는, 전계효과트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 다기능 그래핀 소재 및 소자화 기술 개발
2 교육과학기술부 한국화학연구원 원천기술개발사업 용액공정용 그래핀 기반 나노 소재 및 멀티스케일 패터닝 공정 기술
3 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 분자제어를 통한 기능성 유/무기 소재 및 유연 전자 소자 개발