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신규의 철(Ⅲ) 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015140050
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 신규의 철 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 철 선구물질은 상온에서 액체 상태로 존재하며, 120 ℃정도의 낮은 온도에서 휘발되는 특징을 가지고 있어 금속 유기물 화학 증착법(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)으로 양질의 철 산화물 박막 제조시 선구물질로서 매우 유용하다.[화학식 1]Fe[OCR'2(CH2)mNR2]3[상기 식에서, m은 1~3이고, R 및 R'는 서로 독립적으로 불소를 포함하거나 포함하지 않는 C1~C5 선형 또는 분지형 알킬이다.]철 아미노알콕사이드, 철 선구물질, 철 산화물, 박막, MOCVD
Int. CL C07C 215/10 (2011.01) C07F 15/02 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC C07F 15/02(2013.01) C07F 15/02(2013.01) C07F 15/02(2013.01) C07F 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060006743 (2006.01.23)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0666755-0000 (2007.01.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.01.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창균 대한민국 대전 유성구
2 김윤수 대한민국 대전 유성구
3 정택모 대한민국 대전 유성구
4 이선숙 대한민국 대전 중구
5 박민정 대한민국 전남 구례군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0049072-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0082415-08
4 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0738725-93
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 철 아미노 알콕사이드 화합물
2 2
제 1항에 있어서,상기 식에서 m이 1 또는 2인 것을 특징으로 하는 철 아미노 알콕사이드 화합물
3 3
제 1항에 있어서,상기 식에서 R 및 R'는 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 철 아미노 알콕사이드 화합물
4 4
하기 화학식 2의 철(III) 할로겐 화합물과 하기 화학식 3의 아미노 알콕사이드 알칼리 금속 염 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 철 아미노 알콕사이드 화합물의 제조방법
5 5
제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항에 따른 철 아미노 알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하는 것을 특징으로 하는 철 산화물 박막 및 나노 입자 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.