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티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015140282
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다. 상기 식에서, 2개의 R은 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이고, 2개의 R'은 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 CR"2CH2NR* 2 (여기에서, R" 및 R*는 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이다) 이다.
Int. CL C07F 7/28 (2006.01)
CPC C07F 7/28(2013.01) C07F 7/28(2013.01) C07F 7/28(2013.01)
출원번호/일자 1020040009484 (2004.02.13)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0584200-0000 (2006.05.22)
공개번호/일자 10-2005-0081302 (2005.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20060529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.02.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시유성구
3 정택모 대한민국 대전광역시유성구
4 김인정 대한민국 대전광역시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-0060129-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0605339-52
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.12.07 수리 (Accepted) 9-1-2005-0080189-92
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0039875-24
6 등록결정서
Decision to grant		 2006.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0223338-92
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1의 티타늄 산화물 선구 물질: 화학식 1 상기 식에서, 2개의 R은 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이고, 2개의 R'은 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 CR"2CH2NR* 2 (여기에서, R" 및 R*는 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이다) 이다
2 2
제1항에 있어서, R이 CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 C(CH3)3이고, R'이 CH3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3 또는 CR"2CH2NR* 2 인 것을 특징으로 하는 티타늄 산화물 선구 물질
3 3
유기 용매 중에서 하기 화학식 2의 할로겐화 티타늄과 하기 화학식 3의 화합물을 반응시켜 하기 화학식 4의 화합물을 얻은 후 이를 하기 화학식 5의 알콕사이드의 알칼리 금속염과 반응시키는 것을 포함하는, 제1항에 따른 티타늄 산화물 선구 물질의 제조 방법: 화학식 2 TiX4 화학식 3 M2[RN=CHCH=NR] 화학식 4 Ti[RNCH=CHNR]X2 화학식 5 MOR' 상기 식에서, R 및 R'은 제1항에서 정의한 바와 같고, X는 F, Cl, Br 또는 I 이며, M은 Li, Na 또는 K 이다
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5 5
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6 6
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7 6
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.