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4족 전이금속 전구체, 이의 제조 방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015140317
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 4족 금속 전구체에 관한 것으로, 상기 4족 전이금속 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 4족 전이금속 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1](상기 식에서, M은 Ti, Zr 또는 Hf이고, R1은 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기, 또는 C6-C12의 방향족 탄화수소이며, R2, R3은 각각 독립적으로 H이거나 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기고, R4 및 R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이다.)
Int. CL C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC C23C 16/06(2013.01) C23C 16/06(2013.01)
출원번호/일자 1020140027158 (2014.03.07)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1572086-0000 (2015.11.20)
공개번호/일자 10-2015-0105021 (2015.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20151126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원도 원주시 남원로
2 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
3 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
4 전동주 대한민국 대전광역시 유성구
5 한정환 대한민국 서울특별시 서대문구
6 김다혜 대한민국 전라남도 장성군
7 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
8 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
9 이선숙 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0224984-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0032918-56
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0547318-00
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1006223-59
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-1006222-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0753361-85
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 4족 전이금속 전구체:[화학식 1](상기 식에서, M은 Ti, Zr 또는 Hf이고, R1은 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3 및 C6H5로부터 선택되고, 상기 R2, R3은 각각 서로 독립적으로 H, CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되고, R4, R5는 각각 서로 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택된다
2 2
삭제
3 3
하기 화학식 2로 표시되는 화합물과 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 청구항 1의 4족 전이금속 전구체의 제조 방법: [화학식 2](상기 식에서, R1은 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3 및 C6H5로부터 선택되고, 상기 R2, R3은 각각 서로 독립적으로 H, CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택된다
4 4
청구항 1의 4족 전이금속 전구체를 이용하여 4족 전이금속을 포함한 박막을 성장시키는 방법
5 5
청구항 4에 있어서,박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발