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텅스텐 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015140336
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 텅스텐 화합물에 관한 것으로, 상기 화합물은 열적으로 안정하고, 휘발성이 높아 이를 이용하여 텅스텐 칼코게나이드를 포함하는 양질의 박막을 얻을 수 있다.
Int. CL C23C 16/06 (2006.01) C07F 11/00 (2006.01)
CPC C07F 11/005(2013.01) C07F 11/005(2013.01)
출원번호/일자 1020130121987 (2013.10.14)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1505126-0000 (2015.03.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.14)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
2 김창균 대한민국 대전 유성구
3 정택모 대한민국 대전 유성구
4 전동주 대한민국 대전 유성구
5 여소정 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0925604-04
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0928272-53
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0946579-86
4 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0176467-92
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 나타내는 텅스텐 화합물
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1의 R1은 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종이고, 상기 R2는 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 텅스텐 화합물
3 3
하기 화학식 2 및 화학식 3의 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 텅스텐 화합물의 제조 방법
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 반응은 유기용매에서 이루어지며, 상기 유기용매는 톨루엔 또는 테트라하이드로퓨란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 청구항 1의 화학식 1의 텅스텐 화합물의 제조 방법
5 5
청구항 1의 화학식 1의 텅스텐 화합물을 이용하여 금속 박막을 성장 시키는 방법
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 박막 성장 공정은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막을 성장 시키는 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101505125 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2015056944 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 금속-칼코겐 풀러렌 혼성 물질 개발