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레이저VPE방법과그장치

  • 기술번호 : KST2015140450
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본발명은 나이트라이드 화합물을 이종물체의 표면에 피복시킬 때 이용되는 레이저 VPE(laser- as-sisted vapor phase epitaxy) 방법과 그 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나이트라이드(N) 화합물을 다른 종류의 기판상에 피복시킬 때 파장공명적 레이져 광 에너지를 선정하여 사용하므로써 광화학 반응에 기초한 헤테로에피탁시(hetero-elpitaxy) 방법으로 나이트라이드 화합물을 종래보다 비교적 낮은 온도에서 실시하여 결함구조 없이 피복을 성장시킬 수 있는 새로운 레이저 VPE 방법과, 이러한 VPE 방법을 이용할 수 있도록 구성된 레이저 VPE 장치에 관한 것이다.
Int. CL C30B 25/02 (2006.01)
CPC C23C 16/483(2013.01) C23C 16/483(2013.01) C23C 16/483(2013.01)
출원번호/일자 1019940001994 (1994.02.03)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0119404-0000 (1997.08.01)
공개번호/일자 10-1995-0025122 (1995.09.15) 문서열기
공고번호/일자 1019970003502 (19970318) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.02.03)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황진수 대한민국 대전직할시대덕구
2 이선숙 대한민국 대전직할시중구
3 정필조 오스트리아 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허상훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, 우리종합금융빌딩 **층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국화학연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.02.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0009483-54
2 특허출원서
Patent Application		 1994.02.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0009482-19
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.02.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0009484-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1996.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0005292-30
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.11.12 수리 (Accepted) 1-1-1994-0009485-45
6 의견서
Written Opinion		 1996.11.12 수리 (Accepted) 1-1-1994-0009486-91
7 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0005293-86
8 등록사정서
Decision to grant		 1997.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0005294-21
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009784-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0089084-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0007135-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056800-64
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056808-28
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

나이트라이드 화합물을 이종물질로 된 기판상에 헤테로에피탁시하게 박막으로 성장시키는 장치에 있어서, 진공조(1)와 레이저 광을 출력하는 레이저 광 공급장치(2), 레이저 광을 진공조(1)까지 유도하는 레이저 광 유도수단(3), 진공조(1)내부로 반응원료를 유입시키는 반응기체 공급수단(4) 및 진공조(1) 내부의 진공상태를 유지하는 진공유지수단(5)으로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 진공조(1)는 레이저 광(7)이 유입되는 부분에 부르스터 창(13)이 부착되어 있고, 그 내부위치에서 부르스터 창(13)쪽으로 질소기체를 흘려주는 질소기체 공급수단(14)이 설치되어 있으며, 부르스터창(13)이 반대편에는 빔스토퍼(22)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 진공조(1)는 그 내부중앙에 금속박의 저항전열기(15)가 전원공급용 구리봉(16)에 나사(17)로 고정되어 있고, 그 저항전열기(15) 밑에 K형 열전대(18)가 접속되어 있으며, 저항전기(15) 위에는 기판(6)이 안치되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

4 4

제1항에 있어서, 상기 레이저 광 유도수단(3)은 밀폐관(8)의 내부에 레이저 광(7)의 조사경로를 조절하는 레이저 반사경(9), 조리개(10), 광을 집속 또는 분산시키는 렌즈(11), 그리고 레이저 광(7)의 조사량을 조절하는 감쇠기(12)로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

5 5

제1항에 있어서, 상기 반응기체 공급수단(4)은 반응기체의 종류별로 질량 흐름조절기(19)로 주입속도를 조절하여 각각의 가스봄베(20)로부터 가스밸브(21)를 통해 진공조(1)의 기판(6)을 향해 분사되도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

6 6

제1항에 있어서, 상기 진공유지수단(5)은 진공계측기기와 유확산펌프 및 로타리펌프로 이루어진 진공배기계와 터보펌프(23)와 게이트 밸브(24), 바이패스 밸브 및 사중극자 질량분석기(25)로 이루어진 질량분석 장치로 구성되어 있으며, 상기 질량분석기(25)에 의해 분석된 반응기체와 생성기체의 반응과정을 분석하여 일정한 진공상태가 유지되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 VPE 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.