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촉매식 과불화 화합물 처리 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015140460
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 공정 등에서 사용되는 과불화 화합물을 촉매 방식으로 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 일정부피의 촉매가 충진된 촉매 반응기에 종방향(상부에서 하부로 또는 하부에서 상부로)으로 반응물을 통과시키는 종래의 촉매 반응기 대신 반응물을 촉매층의 횡방향으로 통과시킴으로써, 반응물과 접촉할 수 있는 촉매층의 면적을 최대화 할 수 있으며, 촉매층에 침적되는 입자상 물질의 양을 최소화할 수 있는 한편, 촉매 반응기의 형태를 카트리지 형태로 제작하여 반응기 본체로부터 쉽게 탈거하거나 장착할 수 있도록 함으로써, 촉매의 교체를 용이하게 할 수 있는 처리 장치 및 방법을 제공한다. 과불화 화합물, 입자상 물질, 폐가스, 촉매, 카트리지
Int. CL B01D 53/86 (2006.01.01) B01D 53/00 (2006.01.01) B01D 53/26 (2006.01.01)
CPC B01D 53/8659(2013.01) B01D 53/8659(2013.01) B01D 53/8659(2013.01) B01D 53/8659(2013.01) B01D 53/8659(2013.01)
출원번호/일자 1020090012144 (2009.02.13)
출원인 한국화학연구원, 주식회사 에코프로
등록번호/일자 10-1102230-0000 (2011.12.28)
공개번호/일자 10-2010-0092826 (2010.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.13)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 에코프로 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용기 대한민국 대전 유성구
2 김희영 대한민국 대전 유성구
3 최원춘 대한민국 대전 유성구
4 이동채 대한민국 서울 서초구
5 장효섭 대한민국 대전 대덕구
6 이상복 대한민국 대전 서구
7 손영길 대한민국 대전 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)
3 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 에코프로 대한민국 충청북도 청주시 청원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0091740-93
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document
2009.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-5006374-42
3 보정요구서
Request for Amendment
2009.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0013257-27
4 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2009.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0013258-73
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0129370-27
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.04.01 수리 (Accepted) 4-1-2010-5057253-72
7 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2010.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0594081-35
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0063202-17
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0016841-19
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0173848-74
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0263912-32
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0263914-23
14 등록결정서
Decision to grant
2011.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0606826-51
15 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2020-5210786-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서, 상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되, 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 2이고, 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 2
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 내부틀(14), 외부틀(15) 및 촉매층(17)을 포함하는 촉매 반응기(12)는 카트리지 형태로 이루어져 반응부 몸체(11)로부터 용이하게 탈부착이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)과 외부틀(15)의 상부는 둘 다 마개(18)로 마감되거나, 또는 둘 중 어느 하나에만 마개(18)로 마감되는 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
4 4
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)은 상단부에서 하단부로 갈수록 직경이 작아지거나, 또는 상단부에서 하단부로 갈수록 직경이 커지는 형태의 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
5 5
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 폐가스 도입부(20)는 원통형으로 이루어진 반응부 본체(10)의 접선방향을 따라 형성되어 유입되는 폐가스가 반응부 본체(10)의 내부에 설치되어 있는 촉매 반응기(12)의 둘레를 휘감아 돌 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
6 6
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 1 이상 10 이하인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
7 7
폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서, 상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되, 상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 1
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삭제
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폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서, 상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되, 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 1 이상 4 이하이고, 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 10인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치
10 10
도입부를 통해 접선방향으로 유입되는 폐가스를 예열하는 단계; 예열을 마친 후 반응부로 이동되는 폐가스를 그 휘감아 도는 흐름을 이용하여 촉매 반응기의 횡방향으로 균일하게 분산시켜 촉매 반응기 내부의 촉매층 속으로 유입되도록 하는 단계; 촉매층에 전달된 폐가스의 PFC를 촉매와의 반응을 통해 분해되도록 한 후에 촉매 반응기의 내부틀 중앙의 공간부를 통해 반응부 외부로 배출하는 단계; 상기 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각부에서 냉각시키는 단계; 냉각된 폐가스를 가스 처리부에서 폐가스에 포함되어 있는 부식성 가스를 제거하는 단계; 부식성 가스 제거 후 수분 제거부에서 폐가스 속의 수분을 제거한 후에 덕트 배관을 통해 외부로 배출하는 단계; 를 포함하며, 상기 촉매 반응기는 에스펙트비가 2이고, 내부틀의 직경(D2)과 외부틀의 직경(D1)의 비율(D1/D2)이 2
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패밀리정보가 없습니다
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