요약 | 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 아연 전구체에 관한 것으로, 상기 아연 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있고 열적 안정성과 휘발성이 향상되어 양질의 황화아연 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1](상기 식에서, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 플루오르화 알킬기이며, n은 1에서 3사이의 숫자에서 선택된다.) |
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Int. CL | C07C 5/22 (2006.01) C23C 16/18 (2006.01) H01L 31/042 (2006.01) |
CPC | C07F 3/06(2013.01) C07F 3/06(2013.01) C07F 3/06(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020120048237 (2012.05.07) |
출원인 | 한국화학연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2013-0127024 (2013.11.22) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.05.07) |
심사청구항수 | 4 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국화학연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박보근 | 대한민국 | 강원 원주시 남원로***번길 * |
2 | 김창균 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 정택모 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 전동주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
5 | 이영국 | 대한민국 | 대전 유성구 |
6 | 박주현 | 대한민국 | 대전 서구 |
7 | 송정인 | 대한민국 | 서울 송파구 |
8 | 강성구 | 대한민국 | 경남 진주시 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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최종권리자 정보가 없습니다 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.05.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0363716-47 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0025744-75 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.10.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0712225-10 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1155920-45 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.12.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1155921-91 |
7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2014.03.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0174107-90 |
8 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2014.04.11 | 수리 (Accepted) | 7-1-2014-0013714-56 |
9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2014.05.12 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0442071-52 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.05.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0442069-60 |
11 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.06.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0413154-10 |
12 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2014.08.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0773418-76 |
13 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2014.09.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0886808-96 |
14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.10.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0995152-77 |
15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0995151-21 |
16 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2015.02.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0139367-12 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149242-13 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149265-52 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 하기 화학식 1로 표시되는 아연 전구체:[화학식 1](상기 식에서, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 플루오르화 알킬기이며, n은 1 내지 3이다 |
2 |
2 청구항 1에 있어서,상기 R1, R2는 서로 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되고, 상기 R3, R4는 서로 독립적으로 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 아연 전구체 |
3 |
3 하기 화학식 2로 표시되는 화합물과 화학식 3으로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 청구항 1의 화학식 1로 표시되는 아연 전구체의 제조방법:[화학식 2](상기 식에서, M은 Li, Na, K 또는 NH4 이고, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 플루오르화 알킬기이며, n은 1 내지 3이다 |
4 |
4 청구항 1의 아연 전구체를 이용하여 황화아연 박막을 성장시키는 방법 |
5 |
5 청구항 4에 있어서,박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | KR101331970 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | KR101331971 | KR | 대한민국 | FAMILY |
3 | KR101331972 | KR | 대한민국 | FAMILY |
4 | KR101380897 | KR | 대한민국 | FAMILY |
5 | KR101472473 | KR | 대한민국 | FAMILY |
6 | KR101503031 | KR | 대한민국 | FAMILY |
7 | KR101530042 | KR | 대한민국 | FAMILY |
8 | KR101530043 | KR | 대한민국 | FAMILY |
9 | KR101530044 | KR | 대한민국 | FAMILY |
10 | KR101530045 | KR | 대한민국 | FAMILY |
11 | WO2013165221 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 교육과학기술부 | 한국화학연구원 | 미래기반기술개발사업 | CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성 |
2 | 산업기술연구회 | 한국화학연구원 | 기관고유사업 | 정보전자 산업용 전구체 개발 |
등록사항 정보가 없습니다 |
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번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.05.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0363716-47 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2013.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0025744-75 |
4 | 의견제출통지서 | 2013.10.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0712225-10 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1155920-45 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.12.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1155921-91 |
7 | 거절결정서 | 2014.03.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0174107-90 |
8 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.04.11 | 수리 (Accepted) | 7-1-2014-0013714-56 |
9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2014.05.12 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0442071-52 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.05.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0442069-60 |
11 | 의견제출통지서 | 2014.06.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0413154-10 |
12 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.08.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0773418-76 |
13 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.09.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0886808-96 |
14 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.10.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0995152-77 |
15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0995151-21 |
16 | 거절결정서 | 2015.02.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0139367-12 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149242-13 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.09.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5149265-52 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345176438 |
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세부과제번호 | 2010-50169 |
연구과제명 | CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 나노기반 정보.에너지 사업본부 |
연구주관기관명 | 한국화학연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200907~201406 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1415127036 |
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세부과제번호 | KK-1202-D0 |
연구과제명 | 정보전자 산업용 전구체 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국화학연구원 |
연구주관기관명 | 한국화학연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201001~201212 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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