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유기알루미늄 화합물을 이용한 규소 (111) 기질 상의 질화알루미늄 막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015140484
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기알루미늄 화합물, 특히 비스[디메틸-μ-(1,1'-디메틸히드라지도)-알루미늄] 또는 비스[디에틸-μ-(1,1'-디메틸히드라지도)-알루미늄]을 사용하여 규소 (111) 기질 위에 질화알루미늄 막을 형성하는 방법을 제공한다.
Int. CL C23C 16/18 (2006.01)
CPC C23C 16/303(2013.01) C23C 16/303(2013.01)
출원번호/일자 1019970038278 (1997.08.12)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0254529-0000 (2000.02.02)
공개번호/일자 10-1999-0015908 (1999.03.05) 문서열기
공고번호/일자 (20000501) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.08.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시 유성구
2 박준택 대한민국 대전광역시 유성구
3 김윤수 대한민국 대전광역시 유성구
4 김재환 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 이남경 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구소 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.08.12 수리 (Accepted) 1-1-1997-0122243-91
2 특허출원서
Patent Application		 1997.08.12 수리 (Accepted) 1-1-1997-0122241-00
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.12 수리 (Accepted) 1-1-1997-0122242-45
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009784-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0089084-24
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0223790-50
7 의견서
Written Opinion		 1999.09.20 수리 (Accepted) 1-1-1999-5337014-36
8 등록사정서
Decision to grant		 1999.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0339293-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0007135-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056800-64
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056808-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

규소 (111) 면 기질 위에 비스[디메틸-μ-(1,1'-디메틸히드라지도)-알루미늄]이나 비스[디에틸-μ-(1,1'-디메틸히드라지도)-알루미늄]의 증기를 도입하여 화학 증착시킴을 포함하는, 규소 기질 위에 질화알루미늄 막을 형성하는 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 증착을 400 내지 900 ℃ 및 1

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 증착을 2 회 이상의 다단계로 수행하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.