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사염화실란으로부터 삼염화실란을 제조하는 방법 및 이에 사용되는 트리클 베드 반응기

  • 기술번호 : KST2015140522
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 삼염화실란(trichlorosilane, 이하, TCS)의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자급 혹은 태양전지급 실리콘(silicon) 생산을 위해 사염화실란(STC)으로 삼염화실란(TCS)을 제조하는 공정에 관한 것이다.본 발명의 실시예에 따라 사염화실란(STC)으로 부터 삼염화실란(TCS)을 제조하는 공정은, 트리클 베드 반응기(trickle bed reactor)에 촉매를 충진하는 단계; 상기 반응기로 액상의 사염화실란과 기상의 수소를 공급하는 단계; 상기 반응기 내 촉매 상에서 상기 액상 사염화실란과 기상의 수소에 대하여 하기 반응식 1의 반응이 수행되는 단계; 및 상기 반응을 통해 생성된 기상의 삼염화실란과 염화수소 생성물을 분리하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따르면 300℃ 이하 반응조건에서도 사염화실란의 전환율을 40 % 이상으로 얻을 수 있고, 고순도의 삼염화실란을 연속적으로 공정의 중단없이 얻을 수 있는 이점이 있으며, 액상의 미 반응 사염화실란과 기상의 삼염화실란 및 염화수소의 분리가 용이해져서 반응속도가 증가하고 종전의 기술과 비교하여 분리탑 설치 운전에 따른 분리비용이 감소하는 장점이 있다:003c#반응식 1003e#SiCl4(l) + H2(g) → SiHCl3(g) + HCl(g).
Int. CL B01J 23/44 (2006.01) C01B 33/107 (2006.01) B01J 19/24 (2006.01) B01J 23/755 (2006.01)
CPC C01B 33/10742(2013.01) C01B 33/10742(2013.01) C01B 33/10742(2013.01) C01B 33/10742(2013.01)
출원번호/일자 1020120027351 (2012.03.16)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1392944-0000 (2014.04.30)
공개번호/일자 10-2013-0105160 (2013.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (20140509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원춘 대한민국 대전 유성구
2 박용기 대한민국 대전 유성구
3 이우형 대한민국 충북 청주시 흥덕구
4 윤경구 대한민국 대전 유성구
5 강나영 대한민국 충남 예산군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0215916-90
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0023466-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0589804-82
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0796662-48
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0796663-94
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0068765-03
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0118691-83
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0118692-28
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0290634-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
트리클 베드 반응기(trickle bed reactor)에 촉매를 충진하는 단계 (단계 1);상기 반응기로 액상의 사염화실란과 기상의 수소를 공급하는 단계(단계2); 및상기 반응기 내 촉매 상에서 공급된 액상 사염화실란과 기상의 수소가 하기 반응식 1과 같이 반응하는 단계(단계 3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법: 003c#반응식 1003e#SiCl4(l) + H2(g) → SiHCl3(g) + HCl(g)
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 촉매는 Pd, Pb, Cu, Ni, Ti, Ru, Sr, Pt, Sn, Co, Fe, Sb, Ir, Rh 및 Au로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 단계 2에서 반응기는 100 - 1000 ℃의 온도로 유지되는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 단계 2는 반응기 내 압력을 5 - 300 bar의 범위에서 조절한 후, 액상 사염화실란과 기상의 수소가 주입되는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 단계 2의 반응기 내 압력은 해당 반응온도의 삼염화실란 증기압 이하, 사염화실란의 증기압 이상의 범위에서 선택되는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제조 방법은 상기 단계 3의 반응을 통해 생성된 기상의 삼염화실란과 염화수소 생성물을 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 단계 3의 반응 후 잔존하는 액상의 미반응 사염화실란을 상기 단계 2로 재순환하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 삼염화실란의 제조방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국화학연구원 에너지자원기술개발사업 SoG-Si 생산을 위한 에너지 절약형 삼염화실란 제조기술 개발