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실리콘(Ⅳ) 착화합물 및 이의 제조 방법

기술번호 : KST2015140580
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 새로운 실리콘 착화합물 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 실리콘에 디알킬아미노기가 배위된 착화합물은 열적으로 안정하고 공기 중에서도 안정하며 휘발성이 높고 CVD에 의한 박막 형성시 탄소나 할로겐 오염을 일으키지 않아 양질의 실리콘 또는 실리콘 산화물 박막을 제조하는데 유리하게 이용될 수 있다. <화학식 1> Si(OtBu)2(OCR 1 R 2 CH2NR3 2)2 상기 식에서, R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬이다.
Int. CL	C07F 7/02 (2006.01)
CPC	C07F 7/025(2013.01) C07F 7/025(2013.01) C07F 7/025(2013.01)
출원번호/일자	1020040104923 (2004.12.13)
출원인	한국화학연구원
등록번호/일자	10-0590052-0000 (2006.06.08)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20060619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2004.12.13)
심사청구항수	5

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국화학연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이영국	대한민국	대전광역시 유성구
2	정택모	대한민국	대전광역시 유성구
3	김윤수	대한민국	대전광역시 유성구
4	김창균	대한민국	대전광역시 유성구
5	박미현	대한민국	서울특별시 중랑구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	장성구	대한민국	서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2	이현실	대한민국	서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국화학연구원	대한민국	대전광역시 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.12.13	수리 (Accepted)	1-1-2004-0586152-49
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.01.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.02.17	수리 (Accepted)	9-1-2006-0011248-26
4	등록결정서 Decision to grant	2006.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0232589-45
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.16	수리 (Accepted)	4-1-2008-5059312-66
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2008-5074743-27
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2008-5208083-56
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149242-13
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149265-52

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 하기 화학식 1로 표시되는 실리콘 착화합물: 화학식 1 Si(OtBu)2(OCR 1 R 2 CH2NR3 2)2 상기 식에서, R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬이다
2	2 제 1 항에 있어서, R1, R2 및 R3가 각각 독립적으로 CH3, C2H5 및 CH(CH3)2 중에서 선택된 알킬기임을 특징으로 하는 실리콘 착화합물
3	3 하기 화학식 2로 표시되는 실리콘 화합물과 하기 화학식 3으로 표시되는 알칼리 금속염을 반응시키는 것을 포함하는, 제 1 항에 따른 화학식 1의 실리콘 착화합물의 제조 방법: 화학식 2 SiCl2(O t Bu)2 화학식 3 MOCR 1 R 2 CH2NR3 2 상기 식에서, R1, R2 및 R3는 제 1 항에서 정의한 바와 같고, M은 알칼리 금속이다
4	4 제 1 항에 따른 실리콘 착화합물을 선구 물질로서 사용하여 실리콘 박막 또는 실리콘 산화물 박막을 성장시키는 방법
5	5 제 4 항에 있어서, 금속 유기물 화학 증착법 (MOCVD)에 의해 박막을 성장시킴을 특징으로 하는 방법
6	5 제 4 항에 있어서, 금속 유기물 화학 증착법 (MOCVD)에 의해 박막을 성장시킴을 특징으로 하는 방법

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법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0590052-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20041213 출원 번호 : 1020040104923 공고 연월일 : 20060619 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060425 청구범위의 항수 : 5 유별 : C07F 7/02 발명의 명칭 : 실리콘(Ⅳ) 착화합물 및 이의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20110609

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 한국화학연구원 대전광역시 유성구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	175,500 원	2006년 06월 09일	납입
제 4 년분	금 액	150,000 원	2009년 04월 24일	납입
제 5 년분	금 액	150,000 원	2010년 04월 28일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.12.13	수리 (Accepted)	1-1-2004-0586152-49
2	선행기술조사의뢰서	2006.01.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2006.02.17	수리 (Accepted)	9-1-2006-0011248-26
4	등록결정서	2006.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0232589-45
5	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.16	수리 (Accepted)	4-1-2008-5059312-66
6	출원인정보변경(경정)신고서	2008.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2008-5074743-27
7	출원인정보변경(경정)신고서	2008.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2008-5208083-56
8	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149242-13
9	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149265-52

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