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음극인 원통형 전극의 일부를 에칭 용액에 침적하고 나머지를 대기중에 노출시키는 단계; 양극인 텅스텐 와이어를 상기 원통형 전극의 중심에 정렬하고, 에칭 용액에 그 일부를 침적하고 나머지를 대기중에 노출시키는 단계; 및 전기화학적 방법으로 상기 텅스텐 와이어를 에칭 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 니들의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 텅스텐 와이어를 전기화학적 방법으로 에칭가공하는 과정에서 발생하는 수소가스의 부피 팽창으로 인하여 상기 원통형 전극 내부에 존재하는 에칭 용액의 높이가 외부에 존재하는 에칭 용액의 높이보다 상승하는 것을 특징으로 하는 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 음극인 원통형 전극의 재질이 스테인레스 강인 것을 특징으로 하는 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 양극의 재질이 베릴륨-구리, 팔라듐, 백금-이리듐, 텅스텐 또는 텅스텐-레늄인 것을 특징으로 하는 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 에칭 용액이 수산화나트륨 수용액인 것을 특징으로 하는 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 에칭 용액의 온도가 0 내지 70℃인 것을 특징으로 하는 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 전기화학적 방법이 정전압방법인 것을 특징으로 하는 제조방법
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제7항에 있어서, 정전압방법이 10 내지 15V의 정전압을 가하는 것임을 특징으로 하는 제조방법
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제7항에 있어서, 정전압방법이 10 내지 15V의 정전압을 가하는 것임을 특징으로 하는 제조방법
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