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기판 상에 시드층을 형성하는 단계;상기 시드층이 형성된 상기 기판을 Zn 염, 환원제 및 도핑 물질을 포함하는 수용액 속에서 Zn 산화물 나노 와이어를 형성하는 단계; 및 상기 Zn 산화물 나노 와이어를 열처리를 통하여 p형 산화물 나노 와이어로 형성하는 단계;를 포함하는 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 반도체, 부도체 또는 금속으로 형성된 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 Si, Glass, 플라스틱 또는 폴리머로 형성된 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 시드층은 Zn 산화물인 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 환원제는 HMTA(Hexamethylenetetramine)인 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 도핑 물질은 리튬염인 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 수용액의 온도는 섭씨 85도 내지 100도인 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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8
제 1항에 있어서,상기 수용액의 pH는 10 내지 11의 범위인 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 열처리는 섭씨 400도 내지 600 범위에서 이루어지는 p형 Zn 산화물 나노 와이어의 제조 방법
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10
기판 상에 형성된 하부 전극;상기 하부 전극 상에 형성된 n형 Zn 산화층;상기 n형 Zn 산화층 상에 다수 형성된 것으로 리튬을 포함하는 p형 Zn 산화물 나노 와이어 및상기 p형 Zn 산화물 나노 와이어 상에 형성된 상부 전극;을 포함하는 p형 Zn 산화물 나노 와이어를 포함하는 전자 소자
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11 |
11
기판의 제 1면에 형성된 하부 전극;상기 기판의 제 2면에 형성된 n형 반도체층;상기 n형 반도체층 상에 다수 형성된 것으로 리튬을 포함하는 p형 Zn 산화물 나노 와이어 및상기 p형 Zn 산화물 나노 와이어 상에 형성된 상부 전극;을 포함하는 p형 Zn 산화물 나노 와이어를 포함하는 전자 소자
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제 11항에 있어서,상기 기판은 n형 반도체 물질로 형성된 p형 Zn 산화물 나노 와이어를 포함하는 전자 소자
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