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동일한 N 개의 루프형 안테나들을 포함하되,상기 루프형 안테나들은 360도/N의 각도 차이를 두고 중첩적으로 배치되고,각 상기 루프형 안테나는 1 턴(turn)으로 구성되고 N의 팔들(arms)을 가지고,상기 팔들이 배치되는 평면이 적어도 2개이고,상기 안테나의 팔들을 연결하는 N-1 관절을 가지고,N은 3 이상인 것을 특징으로 하는 안테나 구조체를 적어도 하나 이상 포함하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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제1 항에 있어서,상기 안테나의 팔은 직선, 곡률을 가지는 곡선, 및 구부러진 부분 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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제2 항에 있어서,상기 안테나의 관절은 안테나의 팔이 배치되는 평면을 바꾸되, 상기 관절의 전 후에서 안테나의 팔의 곡률 반경은 증가 또는 감소하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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제2 항에 있어서,상기 안테나의 상기 관절에서 상기 안테나의 팔이 배치되는 평면을 바꾸되, 상기 관절의 전 후에서 안테나의 곡률 반경은 변하지 않는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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제 1 항에 있어서,상기 안테나들에 흐르는 전류는 서로 같은 방향인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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6
제 1 항에 있어서,상기 안테나들은 전부 또는 일부가 전기적으로 병렬 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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제 1 항에 있어서,복수의 안테나 구조체는 서로 인접 배치되되,상기 안테나 구조체에 전력을 공급하는 전원이 따로따로 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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8
제 1 항에 있어서,복수의 안테나 구조체는 서로 중첩배치되되,상기 안테나 구조체에 전력을 공급하는 전원이 따로따로 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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9
제 1 항에 있어서,상기 안테나들의 축전 결합 전극을 더 포함하되, 상기 축전 결합 전극에서 상기 안테나들로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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10
제 9 항에 있어서,상기 축전 결합 전극은 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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N 개의 루프형 안테나들을 포함하되,상기 루프형 안테나들은 360도/N의 각도 차이를 두고 중첩적으로 배치되고,상기 안테나는 N의 팔들(arms)을 가지고,상기 안테나의 팔을 연결하는 N-1 관절을 가지고,N은 3 이상인 것을 특징으로 하는 안테나 구조체를 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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12
제 11 항에 있어서,상기 안테나들의 축전 결합 전극을 더 포함하되, 상기 축전 결합 전극에서 상기 안테나들로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 안테나 장치
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