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금속 재질의 패드 컨디셔너 본체;상기 패드 컨디셔너 본체 상에 형성된 다이아몬드 입자; 및상기 패드 컨디셔너 본체 및 상기 다이아몬드 입자를 도포하고, 소수성의 특성을 가지는 유기막을 포함하는 패드 컨디셔너
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제1항에 있어서, 상기 패드 컨디셔너 본체는 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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제1항에 있어서, 상기 다이아몬드 입자는 상기 패드 컨디셔너 본체 상에 돌출된 돌출부 상에 형성된 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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제1항에 있어서, 상기 유기막은 자기조립단분자막인 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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제4항에 있어서, 상기 유기막은 유기규소, 티올계, 아민계 또는 실란계의 유기물을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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제4항에 있어서, 상기 유기막은 dodecanethiol의 자기조립단분자막 또는 trichloro[1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl] silane의 자기조립단분자막인 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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제6항에 있어서, 상기 trichloro[1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl] silane의 자기조립단분자막은 기체상태의 상기 trichloro[1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl] silane 및 H2O를 상기 패드 컨디셔너 본체에 공급하고, 50℃ 내지 350℃의 온도조건에서 형성되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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8
제6항에 있어서, 상기 dodecanethiol의 자기조립단분자막은 기체상태의 dodecanethiol을 상기 패드 컨디셔너 본체에 공급하고, 50℃ 내지 350℃의 온도조건에서 형성되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너
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