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미세금속입자 또는 전구체가 표면에 패터닝되는 기판;전압 및 전류를 발생하는 전원부;전하를 집적하여 저장하는 축전부; 및상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 전원부로부터 전압 및 전류를 입력받고, 상기 축전부로부터 집적된 전하를 인가받아 아크 플라즈마를 생성하면 상기 기판의 표면으로 극단파 백색광을 출력하고, 상기 극단파 백색광의 조사를 통해 상기 미세 금속입자 또는 전구체를 소결하는 광출력부;를 포함하는 극단파 백색광 광소결장치
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제1항에 있어서,상기 광출력부는극단파 백색광을 출력하는 적어도 하나의 제논 플래시 램프(Xenon Flash Lamp);상기 제논 플래시 램프의 상부에 배치되어, 상기 제논 플래시 램프로부터 상기 기판의 반대방향으로 출력되는 극단파 백색광에 대하여 기판 방향으로 출력되도록 광경로를 변경하는 반사경;상기 제논 플래시 램프의 하부에 배치되어, 기설정된 파장대역을 갖는 극단파 백색광만을 필터링하는 광파장필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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제2항에 있어서,상기 제논 플래시 램프는상기 기판의 수평방향으로 이동에 따른 이동속도에 기초하여 배치각도가 변경되는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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제1항에 있어서,상기 기판의 하부에 상기 기판과 접촉하도록 배치되며, 상기 기판을 수평방향으로 좌우 이동시키는 수평이동부; 및상기 기판과 상기 광출력부 사이의 거리를 조절하도록 상기 광출력부를 수직방향으로 상하 이동시키는 수직이동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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제4항에 있어서,상기 수평이동부는상기 기판을 가열시키는 가열판 또는 상기 기판을 냉각시키는 냉각판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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제1항에 있어서, 상기 제논 플래시 램프의 냉각을 위해 형성되는 냉각통로;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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제1항에 있어서,상기 기판의 상부에 배치되어, 상기 기판의 표면상에 소결되는 상기 미세 금속입자 또는 전구체의 소결상태를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극단파 백색광 광소결장치
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