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플라즈마 진단방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015141674
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예들에 따른 플라즈마 진단방법은 플라즈마 공간 내의 복수의 포인트들에 각각 설치된 복수의 부유 프로브들을 통해 플라즈마의 공간분포를 진단한다. 즉 복수의 부유 프로브들 각각의 직류성분이 제거된 프로브 전류들을 측정하여 복수의 포인트들 각각에서 포인트 이온밀도 및 포인트 전자온도를 산출한다. 이어서 복수의 부유 프로브들 각각의 직류성분이 포함된 프로브 전류들을 측정하여 복수의 포인트들 각각에서 포인트별 전자밀도의 비율을 산출한다.
Int. CL H05H 1/00 (2006.01.01) H01L 21/205 (2006.01.01) H01L 21/3065 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130025384 (2013.03.11)
출원인 삼성전자주식회사, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0112586 (2014.09.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전경엽 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 정진욱 대한민국 서울특별시 성동구
3 이정윤 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
2 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0207048-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0143322-86
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0016073-15
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0176437-71
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0447572-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
11 등록결정서
Decision to grant
2019.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0651990-62
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번호 청구항
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플라즈마 공간 내의 복수의 포인트들에 각각 설치된 복수의 부유 프로브들을 통해 플라즈마를 측정하는 장치에 있어서, 복수의 부유 프로브들이 균일하게 배치된 센서 플레이트;상기 복수의 부유 프로브들 각각에 교류신호를 공급하기 위한 신호 발생기;상기 복수의 부유 프로브들 각각에 직렬로 연결되어 프로브 전류를 센싱하기 위한 복수의 전류센싱저항들을 포함하는 센서회로;상기 신호 발생기와 상기 복수의 부유 프로브들에 사이에 각각 직렬로 연결되고, 제어신호에 응답하여 직류제거 측정모드에서는 직류차단 커패시터를 연결하고, 직류포함 측정모드에서는 다이렉트로 연결하는 복수의 직류선택 스위치회로들을 포함하는 직류선택회로;상기 직류선택회로를 제어하고, 상기 복수의 전류센싱저항들 각각의 전위차를 주파수 분석하여 각 포인트들에서 포인트 이온밀도들, 포인트 전자온도들 및 포인트 전자밀도들을 각각 산출하는 처리부를 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제6항에 있어서, 상기 복수의 직류선택 스위치회로들 각각은 상기 신호 발생기의 출력이 인가되는 공통단자와 2개의 선택단자들을 가진 제1스위치;상기 복수의 부유 프로브들 각각에 연결된 공통단자와 2개의 선택단자들을 가진 제2스위치;상기 제1 및 제2스위치들의 어느 하나의 선택단자들 사이에 연결된 직류차단 커패시터; 및상기 제1 및 제2스위치들의 다른 하나의 선택단자들 사이에 연결된 다이렉트 연결선을 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제6항에 있어서, 상기 처리부는 직류차단 측정모드에서는 상기 신호 발생기와 복수의 부유 프로브들 사이에 각각 직류차단 커패시터가 연결되도록 상기 직류선택회로를 제어하고, 상기 복수의 부유 프로브들 각각의 직류성분이 제거된 프로브 전류들을 측정하여 상기 복수의 포인트들 각각에서 포인트 이온밀도들 및 포인트 전자온도들을 각각 산출하고, 직류공급 측정모드에서는 상기 신호 발생기와 복수의 부유 프로브들 사이가 다이렉트로 연결되도록 상기 직류선택회로를 제어하고, 상기 복수의 부유 프로브들 각각의 직류성분이 포함된 프로브 전류들을 측정하여 상기 복수의 포인트들 각각에서 포인트별 전자밀도의 비율을 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제9항에 있어서, 상기 직류성분이 포함된 프로브 전류에서 상기 직류성분의 크기는 제로인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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1 US2014253092 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9754770 US 미국 DOCDBFAMILY
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