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지면에 대해서 기울어진 바닥면을 갖는 반응조;나노스피어를 공급하는 주입 펌프; 및상기 반응조의 상기 바닥면에 대해서 기울어지도록 상기 반응조의 제1 측벽 상에 배치되고, 상기 주입 펌프에서 공급되는 상기 나노스피어를 상기 반응조 내로 가이드(guide)하는 가이드 기판을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제1 항에 있어서, 상기 반응조는, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽을 포함하고, 상기 제1 측벽에 인접한 상기 바닥면의 일부분과 비교하여, 상기 제2 측벽에 인접한 상기 바닥면의 일부분이 지면에 대해서 상대적으로 낮은 레벨(level)에 위치하는 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제2 항에 있어서, 상기 반응조는, 상기 반응조의 상기 바닥면을 지지하는 제1 지지 구조체, 및 제2 지지 구조체를 포함하되, 상기 제1 지지 구조체는 상기 제1 측벽에 인접하고, 상기 제2 지지 구조체는 상기 제2 측벽에 인접하고 상기 제1 지지 구조체보다 짧은 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제2 항에 있어서, 상기 반응조는, 상기 제2 측벽에 인접한 상기 바닥면의 상기 일부분에 설치된 배수구를 더 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제2 항에 있어서, 상기 제1 측벽의 수직 길이는 상기 제2 측벽의 수직 길이보다 짧거나 같은 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제1 항에 있어서, 상기 가이드 기판을 덮고 일 방향으로 연장하는 복수의 가이드 시트들(guide sheets)을 더 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제6 항에 있어서, 상기 가이드 기판의 상부면은, 상기 복수의 가이드 시트들 사이에 정의되고, 외부로 노출된 복수의 가이드 면들을 포함하고, 상기 주입 펌프에서 공급되는 상기 나노스피어는 상기 복수의 가이드 면들 상에 제공되는 나노스피어 어레이 제조 장치
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8
제7 항에 있어서, 상기 복수의 가이드 면들은, 상기 복수의 가이트 시트들에 덮이지 않은 상기 가이드 기판의 상기 상부면을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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제6 항에 있어서, 상기 주입 펌프는 상기 나노스피어가 분산된 용액을 상기 가이드 기판으로 공급하고, 상기 복수의 가이드 시트들은 상기 나노스피어가 분산된 용액에 의해 젖는 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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10
제1 항에 있어서, 상기 반응조의 바닥면 상의 기판 지지대를 더 포함하되, 상기 기판 지지대의 사이즈는 상기 기판 지지대 상에 배치되는 기판의 사이즈보다 작은 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 장치
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지면에 대해 기울어진 바닥면을 갖는 반응조 내에 기판을 배치시키는 단계;상기 반응조 내에 베이스 용액을 공급하는 단계;상기 반응조의 상기 바닥면에 대해서 기울어지도록 상기 반응조의 제1 측벽 상에 배치된 가이드 기판의 상부면으로, 나노스피어를 포함하는 용액을 흘려, 상기 베이스 용액에 상기 나노스피어를 분산시키는 단계; 및상기 기판 상에 상기 나노스피어가 자기 조립되는(self-assembled) 단계를 포함하는 나노스피어 어레이 제조 방법
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12
제11 항에 있어서, 상기 반응조는, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽, 및 상기 제2 측벽에 인접한 상기 바닥면의 일부분에 설치된 배수구를 포함하고, 상기 나노스피어가 자기 조립된 후, 상기 배수구를 통해 상기 반응조 내의 상기 베이스 용액을 배수시키는 단계를 더 포함하는 나노스피어 어레이 제조 방법
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13
제11 항에 있어서, 상기 나노스피어를 포함하는 용액은 상기 가이드 기판의 상부면으로 점적(點滴, dripping)되는 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 방법
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제11 항에 있어서, 일 방향으로 연장하고 서로 이격된 복수의 가이드 시트들이 상기 가이드 기판의 상부면을 덮되, 상기 복수의 가이드 시트들이 상기 베이스 용액에 젖지 않도록, 상기 베이스 용액이 상기 반응조 내에 공급되는 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 방법
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제14 항에 있어서, 상기 반응조의 상기 바닥면에 인접한 상기 가이드 기판의 일 모서리는 상기 베이스 용액 내에 위치하는 것을 포함하는 나노스피어 어레이 제조 방법
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