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서로 다른 질량을 갖는 구조체(structure)들을 포함하는 혼합액을 준비하는 단계;상기 혼합액을 기판 상에 제공하여, 상기 기판 상에 상기 구조체들을 갖는 상기 혼합액이 확산(spread)되는 단계;상기 기판 상에 확산된 상기 혼합액의 일부분을 수집(collect)하는 단계; 및수집된 상기 혼합액의 상기 일부분으로부터, 수집된 상기 혼합액의 상기 일부분에 포함된 상기 구조체들을 회수하는 단계를 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제1 항에 있어서, 상기 구조체들은, 은 나노 구조체인 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제1 항에 있어서, 상기 기판은, 지면(ground)에 대하여 기울어진(inclined) 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제1 항에 있어서, 수집되는 상기 혼합액의 상기 일부분은, 상기 혼합액이 상기 기판에 제공되는 위치로부터, 일정 거리 범위 내에 위치하는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제4 항에 있어서, 상기 혼합액의 상기 일부분을 수집하는 단계는, 상기 기판 상에 확산된 상기 혼합액의 상기 일부분을 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계; 및잔존된 상기 혼합액의 상기 일부분을 수거하는 단계를 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제1 항에 있어서, 상기 혼합액이 확산되는 단계는, 상기 혼합액을 건조시키는 단계를 포함하고, 상기 혼합액의 상기 일부분을 수집하는 단계는, 건조된 상기 혼합액의 상기 일부분을 수집하는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제6 항에 있어서, 상기 혼합액의 상기 일부분을 수집하는 단계는, 건조된 상기 혼합액의 상기 일부분을 용해시키는 용액을 상기 기판 상에 제공하는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제7 항에 있어서, 상기 구조체들을 회수하는 단계는, 원심 분리기를 이용하여, 상기 혼합액의 상기 일부분이 용해된 상기 용액으로부터 상기 구조체들을 회수하는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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9
제7 항에 있어서, 상기 기판 상에 상기 혼합액을 제공하기 전, 상기 기판 상에 박리층을 형성하는 단계를 더 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제9 항에 있어서, 상기 박리층은, 상기 용액에 의해 용해되는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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제1 항에 있어서, 상기 기판 상에 상기 혼합액을 제공하기 전, 상기 기판의 표면의 표면 에너지를 감소시키는 전처리 공정을 수행하는 단계를 더 단계를 더 포함하는 미세 구조체의 정제 방법
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지면(ground)에 대해서 기울어진(inclined) 상부면을 갖는 기판; 및서로 다른 질량을 갖는 구조체(structure)들을 갖는 혼합액을 상기 기판의 상기 상부면으로 제공하는 혼합액 공급부를 포함하되, 상대적으로 질량이 작은 상기 구조체들을, 상대적으로 질량이 큰 상기 구조체들보다, 상기 혼합액이 상기 기판의 상기 상부면에 제공되는 위치로부터, 더 멀리 확산시키는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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제12 항에 있어서, 상기 기판의 상기 상부면과 지면의 경사 각도를 조절하는 경사각 조절부를 더 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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제12 항에 있어서, 상기 기판의 상기 상부면에 플라즈마를 제공하는 기판 전처리 제공부를 더 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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제12 항에 있어서, 상기 혼합액 공급부는, 지면으로부터 상대적으로 높은 곳에 위치하는 상기 기판의 상기 상부면의 일부분에, 상기 구조체들을 갖는 상기 혼합액을 제공하는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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제12 항에 있어서, 상기 기판은 복수로 제공되고, 상기 복수의 기판들의 상부면들은, 지면에 대해서 기울어지고, 지면으로부터 상대적으로 높은 곳에 위치하는 상기 복수의 기판들의 상기 상부면들의 일부분들은, 서로 인접하게 배치되는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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제16 항에 있어서, 상기 복수의 기판들의 상기 상부면들의 면적은, 지면에 인접할수록 넓어지는 것을 포함하는 미세 구조체의 정제 장치
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