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유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나

  • 기술번호 : KST2015142128
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나가 개시된다. 챔버 상부의 유전체 위에 안테나가 설치되며, 이 안테나는 일단에 RF 전원이 인가되는 전원공급단이 형성되고 타단에 접지단이 형성되는 적어도 2개의 루프형 안테나들이 수평면 상에 일정한 간격으로 이격 중첩되어 전기적으로 병렬 결합되고, 하나의 안테나의 중간부분은 다른 하나의 안테나의 전원공급단과 접지단 사이를 수평면 상으로 통과하도록 절곡된다.ICP, ICP 안테나, Remote ICP, 플라즈마 소스
Int. CL H05H 1/34 (2006.01.01) H01Q 7/00 (2018.01.01)
CPC H05H 1/34(2013.01) H05H 1/34(2013.01)
출원번호/일자 1020070017391 (2007.02.21)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2007-0032758 (2007.03.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자 10-2005-0005543 (2005.01.20)
관련 출원번호 1020050005543
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진욱 대한민국 서울 성동구
2 전형탁 대한민국 서울특별시 노원구
3 이원기 대한민국 서울 송파구
4 최익진 대한민국 서울 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허분할출원서
Divisional Application of Patent		 2007.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0152987-47
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0051705-33
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 상부의 유전체 위에 안테나가 설치되는 유도결합형 플라즈마 발생장치에 적용되며,일단에 RF 전원이 인가되는 전원공급단이 형성되고 타단에 접지단이 형성되는 적어도 2개의 루프형 안테나들이 수평면 상에 일정한 간격으로 이격 중첩되어 전기적으로 병렬 결합되고, 하나의 안테나의 중간부분은 다른 하나의 안테나의 전원공급단과 접지단 사이를 상기 수평면 상으로 통과하도록 절곡되는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 루프형 안테나의 쌍이 복수개 상호 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나
3 3
제 1 항에 있어서, 직경이 상이한 상기 루프형 안테나의 쌍이 복수개 동심상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 루프형 안테나는 3개 이상이며, 하나의 안테나의 중간부분은 인접하는 다른 하나의 안테나의 전원공급단과 인접하는 또 다른 하나의 안테나의 접지단 사이를 통과하도록 절곡되는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 루프형 안테나는 원형 또는 사각형인 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.