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마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩에 있어서,히터와 센서가 형성된 유리칩과, 상기 유리칩의 상부면에 형성되어 유체 시료를 원하는 방향으로 이동이 가능하도록 하는 PDMS칩이 일체화되는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩
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제1항에 있어서,상기 유리칩의 상부면에 위치된 PDMS칩과의 일체화는 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리한 후에 상기 유리칩에 형성된 히터와 센서의 반대면에 PDMS칩이 접합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩
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제1항에 있어서,상기 PDMS칩은 중앙부에 펌프챔버가 형성되고, 상기 펌프챔버와 인렛부 및 아웃렛부 각각의 사이에 체크밸브가 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩
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제3항에 있어서,상기 PDMS칩에 형성된 체크밸브는 정밀한 유량제어가 가능하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩
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마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩에 있어서,히터와 센서가 형성된 유리칩과 상기 유리칩의 상부면에 형성되어 유체 시료를 원하는 방향으로 이동이 가능하도록 하는 PDMS칩이 일체화되되,상기 유리칩의 상부면에 위치된 PDMS칩과의 일체화는 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리한 후에 상기 유리칩에 형성된 히터와 센서의 반대면에 PDMS칩이 접합되어 이루어지고,상기 PDMS칩은 중앙부에 펌프챔버가 형성되고, 상기 펌프챔버와 인렛부 및 아웃렛부 각각의 사이에는 정밀한 유량제어가 가능한 체크밸브가 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩
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마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩을 제조하는 방법에 있어서,히터와 센서가 형성된 유리칩을 형성시키는 단계;상기 유리칩의 상부면에 형성되어 유체 시료를 원하는 방향으로 이동이 가능하도록 하는 PDMS칩을 형성시키는 단계;상기에서 형성된 유리칩의 상부면에 PDMS칩을 접합시켜 일체화시키도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간 동안 처리하는 단계;를 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 PDMS칩을 형성시키는 단계에서,4인치 실리콘 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, 상기의 이물질을 제거한 후에 스핀코팅을 통해 일정한 두께로 음성감광제인 SU-8을 올린 후에 음성감광제인 SU-8에 포함되어 있는 유기용제를 제거하기 위해 소프트 베이크를 실시하는 단계와,상기 실시한 후에 사진공정을 통해 SU-8에 현상을 전사하고 현상하여 PDMS칩을 제작하기 위한 SU-8 몰드가 완성되는 단계와,상기에서 SU-8 몰드가 완성되면 PDMS와 경화제를 일정한 비율로 섞은 다음 진공상태에서 기포를 제거하는 단계와,상기의 기포 제거를 실행한 후에 PDMS를 몰드 위에 붓고 일정 온도에서 일정 시간 동안 경화시킨 후에 몰드에서 PDMS를 분리시키는 단계로 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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제7항에 있어서,상기의 두께는 100㎛ 이고, 상기 PDMS와 경화제의 비율은 10:1 이며, 상기에서 경화시키는 온도와 시간은 65℃와 3시간30분인 것으로 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 유리칩을 형성시키는 단계에서,4인치 파이렉스 유리 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, 상기에서 이물질을 제거한 후에 크롬을 일정 두께로 증착한 다음 금을 일정 두께로 증착시키는 단계와,상기에서 증착된 금속 박막 위에 양성감광제인 AZ1512로 스핀 코팅을 실시하는 단계와,상기 스핀 코팅을 실시한 후에 사진 및 현상공정을 통해 반응조 형상을 만들고 금과 크롬을 차례로 습식 식각하는 단계와,상기 습식 식각 후에 감광제를 제거하여 유리칩을 완성시키는 단계로 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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제9항에 있어서,상기에서 증착되는 크롬과 금의 각각의 두께는 200Å과 1000Å으로 형성시켜 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩을 제조하는 방법에 있어서,히터와 센서가 형성된 유리칩을 형성시키는 단계와, 상기 유리칩의 상부면에 형성되어 유체 시료를 원하는 방향으로 이동이 가능하도록 하는 PDMS칩을 형성시키는 단계와, 상기에서 형성된 유리칩의 상부면에 PDMS칩을 접합시켜 일체화시키도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간 동안 처리하는 단계를 실행하되,상기 PDMS칩을 형성시키는 단계에서, 4인치 실리콘 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, 상기의 이물질을 제거한 후에 스핀코팅을 통해 100㎛ 두께로 음성감광제인 SU-8을 올린 후에 음성감광제인 SU-8에 포함되어 있는 유기용제를 제거하기 위해 소프트 베이크를 실시하는 단계와, 상기 실시한 후에 사진공정을 통해 SU-8에 현상을 전사하고 현상하여 PDMS칩을 제작하기 위한 SU-8 몰드가 완성되는 단계와, 상기에서 SU-8 몰드가 완성되면 PDMS와 경화제를 일정한 비율(10:1)로 섞은 다음 진공상태에서 기포를 제거하는 단계와, 상기의 기포 제거를 실행한 후에 PDMS를 몰드 위에 붓고 65℃에서 3시간30분 동안 경화시킨 후에 몰드에서 PDMS를 분리시키는 단계로 실행하고,상기 유리칩을 형성시키는 단계에서, 4인치 파이렉스 유리 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, 상기에서 이물질을 제거한 후에 크롬을 200Å 두께로 증착한 다음 금을 1000Å 두께로 증착시키는 단계와, 상기에서 증착된 금속 박막 위에 양성감광제인 AZ1512로 스핀 코팅을 실시하는 단계와, 상기 스핀 코팅을 실시한 후에 사진 및 현상공정을 통해 반응조 형상을 만들고 금과 크롬을 차례로 습식 식각하는 단계와, 상기 습식 식각 후에 감광제를 제거하여 유리칩을 완성시키는 단계로 실행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 바이오칩에 사용 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩의 제조방법
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