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압력 또는 진동 센서;상기 압력 또는 진동 센서 상에 배치된 탄성 베이스층; 및상기 탄성 베이스층 상에 배치되고, 상기 탄성 베이스층에 비해 영률(Young's modulus)이 크고, 적어도 일부에서 일정한 주기를 갖는 탄성체 패턴을 포함하되,상기 탄성 베이스층은 변형률이 상기 탄성체 패턴에 비해 커서 출력신호를 증대시키는 촉각 센서
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제1항에 있어서,탄성 베이스층의 영률은 10 kPa ~ 0
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제1항에 있어서,상기 탄성 베이스층과 상기 탄성체 패턴의 각각은,PET(Polyethylene terephthalate, 영률: 1 ~ 5 GPa), PU(Polyurethane, 영률: 0
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제3항에 있어서,상기 탄성 베이스층은 PDMS(영률: 0
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제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴의 높이는 폭에 비해 같거나 큰 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 탄성 베이스층의 두께는 상기 탄성체 패턴의 높이에 비해 같거나 작은 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴의 단면은 사각형인 촉각 센서
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8
제1항에 있어서,상기 압력 또는 진동 센서는 박막형인 촉각 센서
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9
제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴은 라인 형태, 동심원 형태, 또는 아일랜드 형태로 배치되는 촉각 센서
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10
제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴과 상기 베이스층 사이에 접착층을 더 포함하는 촉각 센서
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11
제10항에 있어서,상기 접착층은 상기 탄성체 패턴과 동일한 물질층인 촉각 센서
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12
제11항에 있어서,상기 접착층의 두께는 상기 탄성체 패턴의 두께 대비 0
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압력 또는 진동 센서, 상기 압력 또는 진동 센서 상에 배치된 탄성 베이스층, 및 상기 탄성 베이스층 상에 배치되고 상기 탄성 베이스층에 비해 영률(Young's modulus)이 크고 적어도 일부에서 일정한 주기를 갖는 탄성체 패턴을 포함하는 촉각 센서 상에 대상 물체를 문지르는 단계;상기 촉각 센서의 출력 신호로부터 신호크기-주파수 그래프를 얻는 단계;상기 신호크기-주파수 그래프의 피크들로부터 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 얻는 단계; 및상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 사용하여 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기를 구하는 단계를 포함하는 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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제13항에 있어서, 탄성 베이스층의 영률은 10 kPa ~ 0
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제13항에 있어서,상기 탄성체 패턴의 높이는 폭에 비해 같거나 큰 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 탄성 베이스층의 두께는 상기 탄성체 패턴의 높이에 비해 같거나 작은 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 압력 또는 진동 센서는 박막형인 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 신호크기-주파수 그래프의 피크들로부터 상기 탄성체 패턴의 주기에 의한 주파수값을 더 얻고,상기 대상물체의 표면 거칠기 주기는 상기 탄성체 패턴의 주기에 의한 주파수값 및 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 사용하여 구하는 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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