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다면체 돌출부 또는 다면체 오목부를 구비하는 반사방지 구조체, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 태양전지

  • 기술번호 : KST2015142247
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다면체 돌출부 또는 다면체 오목부를 구비하는 반사방지 구조체, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 태양전지를 제공한다. 태양전지는 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층을 구비한다. 상기 제2 도전형 반도체층 상에 반사방지 구조체가 배치된다. 상기 반사방지 구조체는 다면체 돌출부 또는 다면체 오목부를 구비한다. 상기 다면체 돌출부는 하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들을 갖는다. 상기 다면체 오목부는 상부 폭에 비해 하부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들이 노출된다. 이러한 태양전지는 입사광의 난반사가 일어나 광의 흡수율이 크게 향상됨과 더불어, 광의 입사각에 상관없이 실질적으로 일정한 광흡수율을 유지할 수 있다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01)
출원번호/일자 1020140090633 (2014.07.17)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1530486-0000 (2015.06.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150630) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.17)
심사청구항수 33

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동립 대한민국 서울특별시 서초구
2 장한민 대한민국 서울특별시 강남구
3 전민수 대한민국 서울특별시 광진구 군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0674216-16
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1030264-94
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2014.10.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-2014-0085622-33
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0157696-40
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0424538-95
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0424536-04
9 등록결정서
Decision to grant
2015.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0396009-09
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 및상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치된 반사방지 구조체를 포함하되,상기 반사방지 구조체는 다면체 돌출부를 구비하고,상기 다면체 돌출부는 하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고, 측면에 다수개의 다각면들을 갖고, 상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 상부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 돌출부는 그의 최상부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 태양전지
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 중 적어도 어느 하나가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
5 5
제4항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
6 6
제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 및상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치된 반사방지 구조체를 포함하되,상기 반사방지 구조체는 다면체 오목부를 구비하고,상기 다면체 오목부는 상부 폭에 비해 하부 폭이 좁고, 상기 다면체 오목부의 측면에는 다수개의 다각면들이 노출되고, 상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 하부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 오목부는 그의 최하부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 태양전지
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제6항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 중 적어도 어느 하나가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
10 10
제6항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
11 11
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 폴리머 반사방지 구조체 또는 글라스 반사방지 구조체인 태양전지
12 12
제11항에 있어서,상기 폴리머 반사방지 구조체는 PDMS(Polydimethylsiloxane), PMMA(Polymethyl Methacrylate), 또는 EVA(Ethylene Vinyl Acetate)인 태양전지
13 13
제11항에 있어서,상기 글라스 반사방지 구조체는 봉규산 글라스(borosilicate glass), 소다라임 글라스(soda-lime glass), 규산알루미늄 글라스(aluminum silicate glass), 또는 SOG(Spin On Glass)인 태양전지
14 14
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 봉지층(encapsulation layer)인 태양전지
15 15
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 상기 제2 반도체층의 굴절율과 공기의 굴절율 사이의 굴절율을 갖는 태양전지
16 16
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 도전형 반도체층은 실리콘 반도체층들, 게르마늄 반도체층들, Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체층들, 또는 유기반도체층들인 태양전지
17 17
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 및 제2 도전형 반도체층들은 비정질 반도체층들 또는 다결정 반도체층들인 태양전지
18 18
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 도전형 반도체층 하부에 반사막을 더 포함하는 태양전지
19 19
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제2 도전형 반도체층과 상기 반사방지 구조체 사이에 반사방지막을 더 포함하는 태양전지
20 20
하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들을 갖는 다수 개의 다면체 돌출부들을 구비하는 몰드를 제공하는 단계;상기 몰드 상에 상기 다면체 돌출부들을 덮는 구조체 재료층을 형성하는 단계; 및상기 구조체 재료층을 상기 몰드로부터 분리하여 상기 다면체 돌출부들에 대응하는 다면체 오목부들을 구비하는 쉘 구조체를 얻는 단계를 포함하되,상기 몰드를 제공하는 단계는, 결정성 기판을 제공하는 단계;상기 결정성 기판을 식각하여 필라를 형성하는 단계; 및상기 필라 상에 반도체층을 에피택셜하게 성장시켜 상기 다면체 돌출부를 형성하는 단계를 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
21 21
제20항에 있어서,상기 구조체 재료층은 폴리머층 또는 글라스층인 반사방지 구조체 제조방법
22 22
제21항에 있어서,상기 폴리머층은 PDMS(Polydimethylsiloxane)층, PMMA(Polymethyl Methacrylate)층, 또는 EVA(Ethylene Vinyl Acetate)층인 반사방지 구조체 제조방법
23 23
제21항에 있어서,상기 글라스층은 봉규산 글라스(borosilicate glass)층, 소다라임 글라스(soda-lime glass)층, 규산알루미늄 글라스(aluminum silicate glass)층, 또는 SOG(Spin On Glass)층인 반사방지 구조체 제조방법
24 24
제20항에 있어서,상기 구조체 재료층은 제1 구조체 재료층이고,상기 쉘 구조체 상에 상기 다면체 오목부들을 채우는 제2 구조체 재료층을 형성하는 단계; 및상기 제2 구조체 재료층을 상기 쉘 구조체로부터 분리하여 상기 다면체 오목부들에 대응하는 다면체 돌출부들을 구비하는 콘 구조체를 얻는 단계를 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
25 25
제24항에 있어서,상기 제1 구조체 재료층은 폴리머층 또는 세라믹층이고,상기 제2 구조체 재료층은 폴리머층인 반사방지 구조체 제조방법
26 26
제24항에 있어서,상기 제1 구조체 재료층은 글라스층 또는 세라믹층이고,상기 제2 구조체 재료층은 글라스층인 반사방지 구조체 제조방법
27 27
삭제
28 28
제20항에 있어서,상기 반도체층을 에피택셜하게 성장시키기 전에,상기 필라를 수소 어닐링하는 것을 더 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
29 29
제20항에 있어서,상기 필라를 식각하는 것은 이방성 식각법을 사용하는 반사방지 구조체 제조방법
30 30
제29항에 있어서,상기 필라를 식각하는 것은 상기 이방성 식각법을 수행한 후 등방성 식각법을 수행하는 반사방지 구조체 제조방법
31 31
제20항에 있어서,상기 반도체층은 실리콘층인 반사방지 구조체 제조방법
32 32
제20항에 있어서,상기 기판은 실리콘 단결정 기판인 반사방지 구조체 제조방법
33 33
제32항에 있어서,상기 기판은 003c#100003e# 방향, 003c#110003e# 방향, 또는 003c#111003e# 방향으로 성장된 기판인 반사방지 구조체 제조방법
34 34
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35 35
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36 36
삭제
37 37
하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들을 갖는 다면체 돌출부를 구비하는 반사방지 구조체이되,상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 상부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 돌출부는 그의 최상부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 반사방지 구조체
38 38
삭제
39 39
제37항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 반사방지 구조체
40 40
상부 폭에 비해 하부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들이 노출된 다면체 오목부를 구비하는 반사방지 구조체이되,상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 하부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 오목부는 그의 최하부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 반사방지 구조체
41 41
삭제
42 42
제40항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 반사방지 구조체
43 43
제37항 또는 제40항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 폴리머 또는 글라스인 반사방지 구조체인 반사방지 구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 이공분야 기초연구사업 / 신진연구지원사업 / 신진연구(장비비지원) 나노/마이크로선 구조를 이용한 고효율 다결정 실리콘 박막 태양전지 연구
2 미래창조과학부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 글로벌프론티어연구개발사업 / 지능형 바이오 시스템 설계 및 합성 연구 지능형 바이오 시스템 구축을 위한 효율적인 나노구조체 개발