1 |
1
제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 및상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치된 반사방지 구조체를 포함하되,상기 반사방지 구조체는 다면체 돌출부를 구비하고,상기 다면체 돌출부는 하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고, 측면에 다수개의 다각면들을 갖고, 상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 상부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 돌출부는 그의 최상부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 태양전지
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 중 적어도 어느 하나가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
|
5 |
5
제4항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
|
6 |
6
제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 및상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치된 반사방지 구조체를 포함하되,상기 반사방지 구조체는 다면체 오목부를 구비하고,상기 다면체 오목부는 상부 폭에 비해 하부 폭이 좁고, 상기 다면체 오목부의 측면에는 다수개의 다각면들이 노출되고, 상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 하부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 오목부는 그의 최하부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 태양전지
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
삭제
|
9 |
9
제6항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 중 적어도 어느 하나가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
|
10 |
10
제6항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 태양전지
|
11 |
11
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 폴리머 반사방지 구조체 또는 글라스 반사방지 구조체인 태양전지
|
12 |
12
제11항에 있어서,상기 폴리머 반사방지 구조체는 PDMS(Polydimethylsiloxane), PMMA(Polymethyl Methacrylate), 또는 EVA(Ethylene Vinyl Acetate)인 태양전지
|
13 |
13
제11항에 있어서,상기 글라스 반사방지 구조체는 봉규산 글라스(borosilicate glass), 소다라임 글라스(soda-lime glass), 규산알루미늄 글라스(aluminum silicate glass), 또는 SOG(Spin On Glass)인 태양전지
|
14 |
14
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 봉지층(encapsulation layer)인 태양전지
|
15 |
15
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 상기 제2 반도체층의 굴절율과 공기의 굴절율 사이의 굴절율을 갖는 태양전지
|
16 |
16
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 도전형 반도체층은 실리콘 반도체층들, 게르마늄 반도체층들, Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체층들, 또는 유기반도체층들인 태양전지
|
17 |
17
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 및 제2 도전형 반도체층들은 비정질 반도체층들 또는 다결정 반도체층들인 태양전지
|
18 |
18
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 도전형 반도체층 하부에 반사막을 더 포함하는 태양전지
|
19 |
19
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 제2 도전형 반도체층과 상기 반사방지 구조체 사이에 반사방지막을 더 포함하는 태양전지
|
20 |
20
하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들을 갖는 다수 개의 다면체 돌출부들을 구비하는 몰드를 제공하는 단계;상기 몰드 상에 상기 다면체 돌출부들을 덮는 구조체 재료층을 형성하는 단계; 및상기 구조체 재료층을 상기 몰드로부터 분리하여 상기 다면체 돌출부들에 대응하는 다면체 오목부들을 구비하는 쉘 구조체를 얻는 단계를 포함하되,상기 몰드를 제공하는 단계는, 결정성 기판을 제공하는 단계;상기 결정성 기판을 식각하여 필라를 형성하는 단계; 및상기 필라 상에 반도체층을 에피택셜하게 성장시켜 상기 다면체 돌출부를 형성하는 단계를 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
|
21 |
21
제20항에 있어서,상기 구조체 재료층은 폴리머층 또는 글라스층인 반사방지 구조체 제조방법
|
22 |
22
제21항에 있어서,상기 폴리머층은 PDMS(Polydimethylsiloxane)층, PMMA(Polymethyl Methacrylate)층, 또는 EVA(Ethylene Vinyl Acetate)층인 반사방지 구조체 제조방법
|
23 |
23
제21항에 있어서,상기 글라스층은 봉규산 글라스(borosilicate glass)층, 소다라임 글라스(soda-lime glass)층, 규산알루미늄 글라스(aluminum silicate glass)층, 또는 SOG(Spin On Glass)층인 반사방지 구조체 제조방법
|
24 |
24
제20항에 있어서,상기 구조체 재료층은 제1 구조체 재료층이고,상기 쉘 구조체 상에 상기 다면체 오목부들을 채우는 제2 구조체 재료층을 형성하는 단계; 및상기 제2 구조체 재료층을 상기 쉘 구조체로부터 분리하여 상기 다면체 오목부들에 대응하는 다면체 돌출부들을 구비하는 콘 구조체를 얻는 단계를 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
|
25 |
25
제24항에 있어서,상기 제1 구조체 재료층은 폴리머층 또는 세라믹층이고,상기 제2 구조체 재료층은 폴리머층인 반사방지 구조체 제조방법
|
26 |
26
제24항에 있어서,상기 제1 구조체 재료층은 글라스층 또는 세라믹층이고,상기 제2 구조체 재료층은 글라스층인 반사방지 구조체 제조방법
|
27 |
27
삭제
|
28 |
28
제20항에 있어서,상기 반도체층을 에피택셜하게 성장시키기 전에,상기 필라를 수소 어닐링하는 것을 더 포함하는 반사방지 구조체 제조방법
|
29 |
29
제20항에 있어서,상기 필라를 식각하는 것은 이방성 식각법을 사용하는 반사방지 구조체 제조방법
|
30 |
30
제29항에 있어서,상기 필라를 식각하는 것은 상기 이방성 식각법을 수행한 후 등방성 식각법을 수행하는 반사방지 구조체 제조방법
|
31 |
31
제20항에 있어서,상기 반도체층은 실리콘층인 반사방지 구조체 제조방법
|
32 |
32
제20항에 있어서,상기 기판은 실리콘 단결정 기판인 반사방지 구조체 제조방법
|
33 |
33
제32항에 있어서,상기 기판은 003c#100003e# 방향, 003c#110003e# 방향, 또는 003c#111003e# 방향으로 성장된 기판인 반사방지 구조체 제조방법
|
34 |
34
삭제
|
35 |
35
삭제
|
36 |
36
삭제
|
37 |
37
하부 폭에 비해 상부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들을 갖는 다면체 돌출부를 구비하는 반사방지 구조체이되,상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 상부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 돌출부는 그의 최상부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 반사방지 구조체
|
38 |
38
삭제
|
39 |
39
제37항에 있어서,상기 다면체 돌출부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 반사방지 구조체
|
40 |
40
상부 폭에 비해 하부 폭이 좁고 측면에 다수개의 다각면들이 노출된 다면체 오목부를 구비하는 반사방지 구조체이되,상기 다각면들이 상기 반사방지 구조체의 하부면과 이루는 각은 하부로 갈수록 줄어들고, 상기 다면체 오목부는 그의 최하부에 뾰족한 꼭지점 또는 모서리를 갖는 반사방지 구조체
|
41 |
41
삭제
|
42 |
42
제40항에 있어서,상기 다면체 오목부는 가로폭, 세로폭, 및 높이 모두가 마이크로 사이즈를 갖는 반사방지 구조체
|
43 |
43
제37항 또는 제40항에 있어서,상기 반사방지 구조체는 폴리머 또는 글라스인 반사방지 구조체인 반사방지 구조체
|