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시편에 레이저 빔을 조사하는 레이저 발생 장치;상기 시편과 상기 레이저 발생 장치 사이의 위치에 배치되고, 상기 위치의 변경에 따라 상기 레이저 빔의 강도를 변화시키는 렌즈;상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에서 발생되는 플라즈마에 의한 음향 노이즈를 측정하는 트랜스듀서;상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에 발생되는 초음파를 수신하는 초음파 수신기; 및상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여, 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도를 선정하는 신호 분석 장치를 포함하고,상기 신호 분석 장치는상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여 플라즈마 신호를 분석하고, 상기 플라즈마 신호의 분석 결과에 기초하여, 상기 시편에 조사되는 레이저 빔의 면적이 가장 좁아지는 상태를 나타내는 포커스 컨디션(focused condition)일 때의 렌즈 위치를 기준으로 상기 플라즈마 신호가 발생하지 않는 위치를 추출하고, 상기 추출된 위치에서의 레이저 빔 강도를 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도로서 선정하는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 신호가 발생하지 않는 위치는상기 플라즈마 신호가 발생하지 않는 위치 중, 상기 포커스 컨디션일 때의 렌즈 위치를 기준으로 가장 근접한 위치인 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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시편에 레이저 빔을 조사하는 레이저 발생 장치;상기 시편과 상기 레이저 발생 장치 사이의 위치에 배치되고, 상기 위치의 변경에 따라 상기 레이저 빔의 강도를 변화시키는 렌즈;상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에서 발생되는 플라즈마에 의한 음향 노이즈를 측정하는 트랜스듀서;상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에 발생되는 초음파를 수신하는 초음파 수신기; 및상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여, 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도를 선정하는 신호 분석 장치를 포함하고,상기 트랜스듀서는상기 플라즈마의 발생과 동시에, 충격파(shock wave) 및 플라즈마파(plasma wave)에 의해 공기 중으로 전파되는 상기 음향 노이즈를 측정하는 마이크로폰인 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 레이저 발생 장치는어블레이션 영역(ablation regime)에서의 빔 강도를 사용하여 상기 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 레이저 빔의 강도는상기 레이저 빔의 파워(W), 및 상기 시편의 표면에 조사된 면적(cm2)에 기초하여 산출되는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 렌즈는상기 시편과 상기 레이저 발생 장치 사이에서 이동 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 시스템
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레이저 발생 장치에서, 시편에 레이저 빔을 조사하는 단계;렌즈 위치 제어 장치에서, 상기 레이저 빔의 조사 시, 상기 시편과 상기 레이저 발생 장치 사이에서 렌즈의 이동을 통해, 상기 렌즈의 위치를 변경하여 상기 레이저 빔의 강도를 변화시키는 단계;트랜스듀서에서, 상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에서 발생되는 플라즈마에 의한 음향 노이즈를 측정하는 단계;초음파 수신기에서, 상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에 발생되는 초음파를 수신하는 단계; 및신호 분석 장치에서, 상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여, 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도를 선정하는 단계를 포함하고,상기 레이저 빔 강도를 선정하는 단계는상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여 플라즈마 신호를 분석하는 단계;상기 플라즈마 신호의 분석 결과에 기초하여, 상기 시편에 조사되는 레이저 빔의 면적이 가장 좁아지는 상태를 나타내는 포커스 컨디션(focused condition)일 때의 렌즈 위치를 기준으로 상기 플라즈마 신호가 발생하지 않는 위치를 추출하는 단계; 및상기 추출된 위치에서의 레이저 빔 강도를 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도로서 선정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 방법
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레이저 발생 장치에서, 시편에 레이저 빔을 조사하는 단계;렌즈 위치 제어 장치에서, 상기 레이저 빔의 조사 시, 상기 시편과 상기 레이저 발생 장치 사이에서 렌즈의 이동을 통해, 상기 렌즈의 위치를 변경하여 상기 레이저 빔의 강도를 변화시키는 단계;트랜스듀서에서, 상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에서 발생되는 플라즈마에 의한 음향 노이즈를 측정하는 단계;초음파 수신기에서, 상기 레이저 빔의 강도 변화에 따라 상기 시편에 발생되는 초음파를 수신하는 단계; 및신호 분석 장치에서, 상기 음향 노이즈의 측정 결과에 기초하여, 상기 초음파의 진폭 크기가 최대가 되는 레이저 빔 강도를 선정하는 단계를 포함하고,상기 음향 노이즈를 측정하는 단계는마이크로폰을 통해, 상기 플라즈마의 발생과 동시에, 충격파(shock wave) 및 플라즈마파(plasma wave)에 의해 공기 중으로 전파되는 상기 음향 노이즈를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 방법
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제10항 또는 제13항에 있어서,상기 레이저 빔을 조사하는 단계는어블레이션 영역(ablation regime)에서의 빔 강도를 사용하여 상기 레이저 빔을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 방법
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제10항 또는 제13항에 있어서,상기 레이저 빔의 강도는상기 레이저 빔의 파워(W), 및 상기 시편의 표면에 조사된 면적(cm2)에 기초하여 산출되는 것을 특징으로 하는 최대 진폭을 갖는 레이저 초음파 발생을 위한 최적 빔 강도 선정 방법
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