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석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법

  • 기술번호 : KST2015142282
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 석영 튜브의 세정 장치가 제공된다. 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 제1 세정액이 공급되는 제1 세정조, 및 상기 제1 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제1 순환 호스(hose)를 포함하되, 상기 제1 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공(pore)들을 갖는 측벽(sidewall)을 포함한다.
Int. CL B08B 9/02 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC C23C 16/4407(2013.01) C23C 16/4407(2013.01)
출원번호/일자 1020140036405 (2014.03.28)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1649786-0000 (2016.08.12)
공개번호/일자 10-2015-0113339 (2015.10.08) 문서열기
공고번호/일자 (20160822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김은규 대한민국 서울 성동구
2 이동욱 대한민국 인천 부평구
3 추동일 대한민국 경북 경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0298664-26
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0008749-28
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0468332-53
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0888364-07
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0888346-85
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0049342-83
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0242394-27
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0242384-71
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0394803-22
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.06.29 수리 (Accepted) 7-1-2016-0040273-14
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0733182-38
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.07.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0733188-12
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0578684-45
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 세정액이 공급되는 제1 세정조;상기 제1 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제1 순환 호스(hose);상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브의 일단에 장착되는 커넥터; 및상기 커넥터를 회전시켜, 상기 석영 튜브의 길이 방향을 회적축으로 상기 석영 튜브를 회전시키는 모터를 포함하되, 상기 제1 순환 호스는, 상기 석영 튜브의 개방된 타단으로 삽입되어 상기 석영 튜브 내에 위치하고, 플렉시블 재질로 제공되며, 압축 공기를 제공받는 일단, 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공(pore)들을 갖는 측벽(sidewall)을 포함하며,상기 커넥터는상기 제1 세정조의 일 측벽에 인접 위치하고, 상기 석영 튜브의 일단이 고정 삽입되고 상기 석영 튜브의 외경과 동일한 크기의 내경을 갖는 홈을 가지며, 상기 모터의 구동으로 회전되는 케이싱을 포함하며,상기 케이싱은 상기 석영 튜브의 외경에 따라 상기 홈의 내경이 상기 석영 튜브의 외경에 대응되도록 교체 가능한 석영 튜브의 세정 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1 항에 있어서, 상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브의 타단에 인접한 위치에서 상기 석영 튜브를 지지하는 튜브 홀더를 더 포함하는 석영 튜브의 세정 장치
5 5
제4 항에 있어서, 상기 제1 순환 호스의 상기 일단은 상기 석영 튜브의 상기 타단에 인접하게 위치하고, 상기 제1 순환 호스의 상기 타단은 상기 석영 튜브의 상기 일단에 인접하게 위치하는 것을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치
6 6
제4 항에 있어서, 상기 커넥터 및 상기 튜브 홀더 사이에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브를 지지하는 추가 튜브 홀더를 더 포함하는 석영 튜브의 세정 장치
7 7
제1 항에 있어서, 상기 석영 튜브의 외부에 위치하도록 구성된 추가 순환 호스를 더 포함하되, 상기 추가 순환 호스는 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치
8 8
제1 항에 있어서, 상기 제1 세정액과 다른 제2 세정액이 공급되는 제2 세정조; 및상기 제2 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제2 순환 호스를 더 포함하되, 상기 제2 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한양대학교산학협력단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 핵심연구 2차원 층상 반도체 박막 및 양자점을 이용한 나노구조 양자소자 연구