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광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조되는 광섬유 기반 센서

  • 기술번호 : KST2015142372
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법은, 기판 상에 일차적으로 제1 폴리머를 코팅한 후, 제1 폴리머 상에 광섬유를 로딩하고 이어서 제2 폴리머를 상기 광섬유 상에 코팅하는, 폴리머 형성 단계; 기판의 상부에 개방 부분 및 차단 부분이 구비된 마스크를 배치한 후 마스크를 통해 자외선을 노출시킴으로써 제2 폴리머를 노광시키는, 노광 단계; 제2 폴리머의 일부분을 현상하는, 현상 단계; 및 제2 폴리머의 일부분의 현상을 통해 노출되는 광섬유의 표면을 식각함으로써 광섬유에 비대칭의 장주기 격자를 형성하는, 식각 단계;를 포함하며, 제2 폴리머는 제1 폴리머에 비해 자외선에 대한 반응 정도가 크며, 노광 단계에 이은 현상 단계 시 제2 폴리머에 한해 현상이 이루어짐으로써 광섬유에 비대칭의 장주기 격자가 형성될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기존의 진폭 마스크 방법과 아크 방전 방법에서 사용되는 광민감성 광섬유, 자외선 레이저와 같은 고가의 장비 없이 반도체 공정의 식각 공정을 기반으로 하여 광섬유에 비대칭의 장주기 격자를 형성할 수 있으며 따라서 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 대량 생산을 할 수 있다.
Int. CL G02B 6/028 (2006.01) G02B 6/13 (2006.01)
CPC G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01)
출원번호/일자 1020120057207 (2012.05.30)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1394755-0000 (2014.05.07)
공개번호/일자 10-2013-0134011 (2013.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한영근 대한민국 서울 성동구
2 강철주 대한민국 서울 성동구
3 권오장 대한민국 서울 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0431622-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0024816-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0528954-58
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0884563-13
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0145805-71
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-0307576-18
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.03.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0307575-73
9 등록결정서
Decision to Grant Registration
2014.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0298611-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 일차적으로 제1 폴리머를 코팅한 후, 상기 제1 폴리머 상에 광섬유를 로딩하고 이어서 제2 폴리머를 상기 광섬유 상에 코팅하는, 폴리머 형성 단계;상기 기판의 상부에 개방 부분 및 차단 부분이 구비된 마스크를 배치한 후 상기 마스크를 통해 자외선을 노출시킴으로써 상기 제2 폴리머를 노광시키는, 노광 단계;상기 제2 폴리머의 일부분을 현상하는, 현상 단계; 및상기 제2 폴리머의 일부분의 현상을 통해 노출되는 상기 광섬유의 표면을 식각함으로써 상기 광섬유에 비대칭의 장주기 격자를 형성하는, 식각 단계;를 포함하며,상기 제2 폴리머는 상기 제1 폴리머에 비해 자외선에 대한 반응 정도가 크며, 상기 노광 단계에 이은 상기 현상 단계 시 상기 제2 폴리머에 한해 현상이 이루어짐으로써 상기 광섬유에 비대칭의 장주기 격자가 형성되는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 폴리머 형성 단계 시, 상기 제1 폴리머에 상기 광섬유를 로딩시킨 후 베이킹(baking)하고, 상기 제2 폴리머를 코팅한 후 베이킹하며,상기 노광 단계 후 상기 제1 폴리머 및 상기 제2 폴리머로 코팅된 기판을 베이킹하는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 폴리머 및 상기 제2 폴리머가 코팅되는 상기 기판에 대한 베이킹 공정은 열을 제공하는 핫 플레이트(hot plate) 상에서 진행되는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 광섬유는 상기 비대칭의 장주기 격자가 형성되는 부분에 한해서 재킷이 제거된 후 상기 제1 폴리머 및 상기 제2 폴리머에 개재되는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 노광 단계에서 사용되는 상기 마스크는 자외선을 노출시키는 상기 개방 부분의 폭과 자외선을 차단하는 상기 차단 부분의 폭이 1:2 내지 1:4의 비율로 형성되는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 노광 단계에서 사용되는 상기 마스크는 상기 개방 부분과 상기 차단 부분의 비율이 다른 복수 개의 마스크 중 선택된 마스크이며, 하나의 상기 기판에 대해 복수 개의 상기 마스크가 배치 가능한, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 노광 단계에서 상기 마스크를 향해 자외선을 발산하는 광원은 UV 램프(Ultra Violet lamp) 또는 UV 레이저인, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 식각 단계 시, 상기 현상 단계에 의해 상기 비대칭의 장주기 격자가 새겨진 상기 광섬유에 불산 용액을 제공하여 상기 광섬유에 구비되는 클래딩 부분을 일정 주기 및 깊이로 식각하는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 폴리머가 코팅된 상기 기판은 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 쿼츠 플레이트(quartz plate), 유리 기판 및 플라스틱 기판 중 어느 하나로 마련되는, 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
제1항에 따른 광섬유의 비대칭 장주기 격자 제조 방법에 의해 제조되는 광섬유를 기반으로 하는 광섬유 기반 센서에 있어서,상기 비대칭의 장주기 격자에 비대칭 클래딩 모드를 이용하여 분산보상을 하거나, 상기 비대칭의 장주기 격자에 장력을 인가하여 코어 모드 또는 클래딩 모드를 변환시키는 광섬유 기반 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.