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정전분무 슬러리 증착 공정을 이용한 경도가 우수한 내플라즈마 부재의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015142455
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알루미나 가압 성형체에 내플라즈마성이 우수한 세라믹 층을 형성한 후 동시 소성 공정을 진행하여 종래 대기압 플라즈마 용사 코팅막보다 경도가 증진되고, 내플라즈마성이 우수한 내플라즈마 부재를 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C04B 35/10 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) C04B 41/81 (2006.01)
CPC C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01)
출원번호/일자 1020130023314 (2013.03.05)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0110188 (2014.09.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020150090173;
심사청구여부/일자 Y (2013.03.05)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동욱 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박종훈 대한민국 경기 오산시 남부대로 *-
3 박인유 대한민국 서울 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0192317-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0099965-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0149592-23
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0401848-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0401857-26
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0499801-46
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.09.23 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2014-0900792-73
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0900789-35
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2015.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0071908-41
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0071923-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
14 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.03.02 수리 (Accepted) 7-1-2015-0007911-93
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.03.30 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2015-0311770-54
16 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0309582-74
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0311769-18
18 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2015.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0286819-62
19 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0286820-19
20 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.05.28 수리 (Accepted) 7-1-2015-0023644-72
21 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0614688-81
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 알루미나 가압 성형체를 제조하는 단계;(b) 세라믹 분말을 포함하는 슬러리 조성물을 제조하는 단계;(c) 상기 세라믹 슬러리 조성물을 상기 알루미나 가압 성형체에 정전 분무 방법으로 분무하여 세라믹 층을 증착하는 단계; 및(d) 상기 세라믹 층이 증착된 알루미나 가압 성형체를 동시 소결하는 단계;를 포함하는 내플라즈마 부재의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 알루미나 가압 성형체의 알루미나 분말은 순도가 98-99
3 3
제2항에 있어서,상기 (a)단계의 알루미나 가압 성형체 제조 방법은 알루미나 분말을 금형 몰드에 장입한 후, 20-50 MPa의 압력으로 가압하여 제조한 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 세라믹 분말은 이트리아(Y2O3), 지르코니아(ZrO2), 및 알루미나(Al2O3)로 이루어진 혼합 슬러리인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
5 5
제4항에 있어서,상기 세라믹 분말은 실리콘 카바이드(SiC), 질화 규소(Si3N4) 및 질화 알루미늄(AlN) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
6 6
제4항에 있어서,상기 세라믹 분말은 지르코니아, 이트리아, 알루미나의 중량비는 1 : 2-4 : 3-5인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 세라믹 슬러리 조성물은 알콜과 유기 용매의 혼합 용매에 상기 세라믹 분말 및 폴리비닐부티랄을 혼합하여 제조한 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 (c) 단계의 정전 분무 방법은 상기 세라믹 슬러리 조성물을 시린지 펌프를 이용하여 노즐로 이송한 후 분무하여 수행하고,상기 슬러리 유량은 1-20 mL/h으로 하고, 상기 알루미나 가압 성형체와 노즐간의 이격거리는 2-15 cm이며, 증착 시간은 5-100 분이고, 인가 전압은 2-20 kV인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 (d) 단계의 소결 온도는 1,500-1,700 ℃인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
10 10
제1항에 있어서,상기 세라믹 분말의 입자 크기가 1 nm - 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 부재의 제조방법
11 11
제 1항의 제조방법에 따라 제조된 내플라즈마 부재
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1 KR1020150082148 KR 대한민국 FAMILY

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