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핀 익스텐션을 이용하여 오류 교정이 가능한 반도체 장치 및 그 설계 방법

  • 기술번호 : KST2015142703
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 복수의 메탈 레이어들로 구성된 반도체 장치에 있어서, 미리 정해지는 기능(function)을 수행하는 적어도 하나의 리페어 블록; 상기 리페어 블록의 상기 미리 정해지는 기능을 대체하는 스페어 블록; 및 상기 복수의 메탈 레이어들 중 오류 교정을 위해 미리 지정된 적어도 하나의 리페어 레이어를 포함하되, 상기 리페어 블록의 적어도 하나의 핀은 상기 리페어 레이어로 제1 핀 익스텐션을 통해 연결되고, 상기 스페어 블록의 적어도 하나의 핀은 상기 리페어 레이어까지 확장되도록 구성되며, 상기 리페어 블록의 리페어 요구시, 상기 리페어 레이어와 상기 리페어 블록 간의 상기 제1 핀 익스텐션의 연결을 해제하고, 상기 스페어 블록의 상기 적어도 하나의 핀은 제2 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 레이어에 연결됨을 특징으로 하는 반도체 장치를 제안한다. 반도체 장치 제작 후 오류가 있을 때 미리 정해진 하나의 층 또는 그 이상의 메탈 레이어만을 다시 제작하여 짧은 교정 기간 안에 저비용으로 오류를 교정할 수 있다.반도체 칩, 리페어 블록, 오류 교정, 스페어 블록, 핀 익스텐션, 리페어 레이어
Int. CL G11C 11/34 (2006.01.01) H01L 23/525 (2006.01.01) G11C 29/00 (2006.01.01)
CPC G11C 11/34(2013.01) G11C 11/34(2013.01) G11C 11/34(2013.01) G11C 11/34(2013.01)
출원번호/일자 1020090122917 (2009.12.11)
출원인 삼성전자주식회사, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1677760-0000 (2016.11.14)
공개번호/일자 10-2011-0066313 (2011.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20161129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.10)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동윤 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 여동훈 대한민국 경기도 안산시 상록구
3 신현철 대한민국 경기도 안산시 상록구
4 김경호 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 강병태 대한민국 서울특별시 송파구
6 신주용 대한민국 경기도 안산시 상록구
7 이성철 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건주 대한민국 서울 종로구 명륜동*가 ***-* 미화빌딩 이건주특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0765287-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-1200589-15
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1200590-51
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0026897-95
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0190937-13
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0460555-39
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0460532-90
12 등록결정서
Decision to grant
2016.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0697160-46
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 메탈 레이어들로 구성된 반도체 장치에 있어서, 미리 정해지는 기능(function)을 수행하는 적어도 하나의 리페어 블록;상기 리페어 블록의 상기 미리 정해지는 기능을 대체하는 스페어 블록; 및상기 복수의 메탈 레이어들 중 오류 교정을 위해 미리 지정된 적어도 하나의 리페어 레이어를 포함하고,상기 리페어 레이어는 적어도 하나의 핀과 연결될 수 있는 적어도 하나의 컨택(contact)을 포함하는 커스텀 셀(custom cell)을 포함하며,상기 리페어 블록의 적어도 하나의 핀은 상기 리페어 블록의 적어도 하나의 핀을 확장한 제1 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 레이어에 연결되고, 상기 스페어 블록의 적어도 하나의 핀은 상기 리페어 레이어까지 확장되도록 구성되며, 상기 리페어 블록의 리페어 요구 시, 상기 리페어 레이어와 상기 리페어 블록 간의 상기 제1 핀 익스텐션의 연결을 해제하고, 상기 스페어 블록의 상기 적어도 하나의 핀은 상기 스페어 블록의 적어도 하나의 핀을 확장한 제2 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 레이어에 연결됨을 특징으로 하는 반도체 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 리페어 레이어에 위치하는 상기 커스텀 셀의 컨택과 상기 리페어 블록의 핀이 연결됨으로써 상기 제1 핀 익스텐션을 형성함을 특징으로 하는 반도체 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 스페어 블록의 적어도 하나의 핀은 전원 공급 단자 (Vdd) 및 접지 점 (Vss) 중 하나에 연결됨을 특징으로 하는 반도체 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 리페어 레이어는 상기 복수의 메탈 레이어들 중 가장 상위에 위치함을특징으로 하는 반도체 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 리페어 레이어와 상기 리페어 블록 간의 상기 제1 핀 익스텐션의 연결 해제되면, 상기 리페어 블록의 해당 핀은 상기 복수의 메탈 레이어들 중 어느 것에도 더 이상 연결되지 않음을 특징으로 하는 반도체 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1 핀 익스텐션은 비아(VIA: vertical interconnect access)를 포함함을 특징으로 하는 반도체 장치
8 8
삭제
9 9
복수의 메탈 레이어들로 구성된 반도체 장치의 설계 방법에 있어서,오류 발생 가능성이 있는 리페어 블록의 적어도 하나의 핀을, 상기 복수의 메탈 레이어들 중 오류 교정을 위해 미리 지정된 적어도 하나의 리페어 레이어로 제1 핀 익스텐션을 통해 연결하는 과정; 상기 리페어 블록을 대체하는 스페어 블록의 적어도 하나의 핀을 상기 리페어 레이어까지 확장되도록 구성하는 과정; 및리페어 요구시, 상기 리페어 레이어와 상기 리페어 블록 간의 상기 제1 핀 익스텐션의 연결을 해제하고, 상기 스페어 블록의 상기 적어도 하나의 핀을 제2 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 레이어로 연결하는 과정을 포함하며,상기 리페어 레이어는 적어도 하나의 핀과 연결될 수 있는 적어도 하나의 컨택(contact)을 포함하는 커스텀 셀(custom cell)을 포함함을 특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
10 10
삭제
11 11
제9항에 있어서,상기 제1 핀 익스텐션은 상기 리페어 레이어에 위치하는 상기 커스텀 셀의 컨택과 상기 리페어 블록의 핀이 연결됨으로써 형성됨을 특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
12 12
제9항에 있어서,상기 스페어 블록의 적어도 하나의 핀은 전원 공급 단자 (Vdd) 및 접지 점 (Vss) 중 하나에 연결됨을 특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
13 13
제9항에 있어서,상기 리페어 레이어는 상기 복수의 메탈 레이어들 중 가장 상위에 위치함을특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
14 14
제9항에 있어서, 상기 리페어 레이어와 상기 리페어 블록 간의 상기 제1 핀 익스텐션의 연결 해제되면, 상기 리페어 블록의 해당 핀은 상기 복수의 메탈 레이어들 중 어느 것에도 더 이상 연결되지 않음을 특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
15 15
제9항에 있어서, 상기 제1 핀 익스텐션은 비아(VIA: vertical interconnect access)를 포함함을 특징으로 하는 반도체 장치의 설계 방법
16 16
반도체 장치에 있어서,상기 반도체 장치의 제1 블록 및 제2 블록에 연결되며, 상기 제1 블록 및 제2 블록 간의 미리 정해지는 기능을 수행하는 리페어 블록과,상기 리페어 블록이 리페어될 때 상기 리페어 블록의 미리 정해지는 기능을 대체하는 스페어 블록과,오류 교정을 위한 리페어 레이어와 상기 리페어 블록을 상기 제1 블록 및 상기 제2 블록에 연결하는 리페어 레이어의 일부를 포함하는 복수의 메탈 레이어들을 포함하고,상기 리페어 블록은 제1 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 블록을 상기 리페어 레이어의 일부에 연결하는 제1 핀과, 상기 제1 핀에 연결되는 적어도 하나의 컨택(contact)을 포함하는 커스텀 셀(custom cell)을 포함하고, 상기 스페어 블록은 상기 스페어 블록이 상기 리페어 블록을 대체할 때, 제2 핀 익스텐션을 통해 상기 스페어 블록을 상기 리페어 레이어의 일부에 연결하는 제2 핀과, 상기 제2 핀에 연결되는 적어도 하나의 컨택을 포함하는 스페어 셀을 포함함을 특징으로 하는 반도체 장치
17 17
삭제
18 18
제16항에 있어서,상기 제1 핀 익스텐션을 위한 제1 비아(VIA: vertical interconnect access)와 상기 제2 핀 익스텐션을 위한 제2 비아를 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 장치
19 19
제18항에 있어서,상기 리페어 블록이 리페어될 때, 상기 리페어 블록은 상기 제1 핀 익스텐션의 연결을 해제함으로써 상기 리페어 레이어로부터 연결 해제되고, 상기 스페어 블록은 상기 제2 핀 익스텐션을 통해 상기 리페어 레이어에 연결됨을 특징으로 하는 반도체 장치
20 20
제16항에 있어서,상기 리페어 레이어는 상기 복수의 메탈 레이어들 중 가장 상위의 메탈 레이어에 위치함을 특징으로 하는 반도체 장치
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1 US08689163 US 미국 FAMILY
2 US20110140280 US 미국 FAMILY

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1 US2011140280 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8689163 US 미국 DOCDBFAMILY
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