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MgO층에 대한 세정방법 및 이를 이용한 플라즈마디스플레이 패널의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015142751
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 PDP의 기판상에 증착된 MgO층으로부터 아웃개싱되는 불순물을 감소시키고 동시에 방전 특성을 향상시킬 수 있는 MgO층에 대한 세정방법과 PDP의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 MgO층에 대한 세정방법은, MgO층이 외부에 노출되도록 형성된 기판을 플라즈마 반응챔버내로 로딩하는 단계 및 상기 MgO층에 흡착된 불순물들이 제거되도록 상기 MgO층에 대하여 대기압에서 플라즈마 세정을 수행하는 단계 및/또는 열처리를 통하여 세정을 수행하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01J 11/40 (2006.01) H01J 9/24 (2006.01)
CPC H01J 9/38(2013.01) H01J 9/38(2013.01) H01J 9/38(2013.01)
출원번호/일자 1020020069254 (2002.11.08)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0509522-0000 (2005.08.12)
공개번호/일자 10-2004-0040906 (2004.05.13) 문서열기
공고번호/일자 (20050823) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 송파구
2 이영준 대한민국 서울특별시동대문구
3 송병관 대한민국 서울특별시강서구
4 황현기 대한민국 경기도이천시
5 이용혁 대한민국 서울특별시금천구
6 이창헌 대한민국 경기도수원시장안구
7 정창현 대한민국 부산광역시금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-0369744-10
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2002.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2002-5271845-31
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2004-0056453-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0425701-76
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2004.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-5192598-41
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2005.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0015285-11
8 의견서
Written Opinion
2005.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2005-0015284-65
9 등록결정서
Decision to grant
2005.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0220718-89
10 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2005.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2005-0401395-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
MgO층이 외부에 노출되도록 형성된 기판을 플라즈마 반응챔버내로 로딩한 후 상기 MgO층에 흡착된 불순물들이 제거되도록 플라즈마 세정을 수행하는 MgO층에 대한 세정방법에 있어서, 상기 MgO층에 대한 플라즈마 세정은, 헬륨 + 산소 + 아르곤의 혼합가스 또는 헬륨 + 산소 + 아르곤 + 질소의 혼합가스를 세정가스로 하여 대기압하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 MgO층에 대한 세정방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 MgO층에 대한 플라즈마 세정을 수행하는 단계 후에 300 ℃ 내지 500 ℃의 범위내에서 열처리를 통하여 상기 MgO층을 세정하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 MgO층에 대한 세정방법
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5 5
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6 6
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7 7
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8 8
플라즈마 디스플레이 패널의 상부 패널의 내측에 MgO층을 형성하여 상부 패널을 제작하는 단계; 플라즈마 디스플레이 패널의 하부 패널을 제작하는 단계; 상기 상부 패널과 하부 패널을 봉합한 조립체를 형성하는 단계; 상기 조립체의 상부 패널과 하부 패널 사이의 내부공간을 배기시키는 단계; 상기 조립체의 내부 공간에 방전 가스를 주입하는 단계; 및 상기 조립체로부터 플라즈마 디스플레이 패널의 모듈을 제작하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 상기 하부 패널을 제작하는 단계 이후 상기 조립체를 형성하는 단계 이전에 상기 상부 패널의 MgO층에 흡착된 불순물들이 제거되도록 상기 MgO층에 대하여 헬륨 + 산소 + 아르곤의 혼합가스 또는 헬륨 + 산소 + 아르곤 + 질소의 혼합가스를 세정가스로 하여 대기압에서 플라즈마 세정을 수행하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
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삭제
10 10
제8항에 있어서, 상기 MgO층에 대한 플라즈마 세정을 수행하는 단계 이후에 열처리를 통하여 세정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
11 10
제8항에 있어서, 상기 MgO층에 대한 플라즈마 세정을 수행하는 단계 이후에 열처리를 통하여 세정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.