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초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체바이오마커 센서 및 모듈

  • 기술번호 : KST2015142784
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인체의 신진대사 과정에서 배출되며 다양한 질병들을 간접적으로 진단하는데 유용한 인체 바이오마커들을 감지할 수 있는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 및 모듈에 관한 것이다.본 발명에서의 압전 마이크로 브리지는 하나의 브리지 구조 지지판 위에 두 개의 압전 구동을 위한 압전 캐패시터가 대칭적으로 분리되어 집적되기 때문에 소자의 총 질량을 줄여 감도를 향상시킬 수 있으며, 다층 박막 구조의 공진자의 제작 시 층간 잔류 응력을 분산하여 외형적 변형을 최소화할 수 있고 따라서, 높은 기계적 품질 계수의 공진주파수를 나타내며 대기, 수질 등 여러 측정 환경에서도 물질 감지를 위한 공진주파수 분해능을 확보할 수 있다. 본 발명의 압전 마이크로 브리지 공진자 감지소자는 기존의 유사한 유효 감지 면적을 갖는 마이크로 칸티레버 구조의 공진자에 비해 매우 높은 공진주파수 값과 그에 따른 보다 우수한 감도 특성을 가지고 있다.
Int. CL G01N 27/64 (2006.01)
CPC G01N 27/64(2013.01) G01N 27/64(2013.01) G01N 27/64(2013.01) G01N 27/64(2013.01)
출원번호/일자 1020050136244 (2005.12.31)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0845717-0000 (2008.07.04)
공개번호/일자 10-2007-0072224 (2007.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20080710) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.31)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재찬 대한민국 서울시 서초구
2 신상훈 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권형중 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)(특허법인 남앤남)
2 이종승 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길** 에이동 ***호 (문정동, 현대지식산업센터)(리스비특허법률사무소)
3 김문재 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)(특허법인 남앤남)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에이엘티 충청북도 청주시 흥덕구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2005-0786763-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0071838-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0698905-87
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0060502-48
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0160154-75
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0226700-20
8 의견서
Written Opinion
2007.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0299833-83
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0299834-28
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0470001-83
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0780913-98
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0780914-33
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0098890-42
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0299371-25
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0299372-71
17 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0299369-33
18 등록결정서
Decision to grant
2008.07.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0354539-70
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서에 있어서,기판 상에 형성된 지지층;상기 지지층 상부에 두 개로 분리되어 소정의 크기로 형성된 하부 전극;상기 두 개로 분리되어 배열된 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 두 개의 압전 구동층;상기 두 개로 배열된 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 두 개로 배열된 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극;상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위한 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인;상기 상부 전극 상부에 형성되며 감지 대상 물질을 감지하는 감지층;을 포함하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 지지층은 실리콘 기판 상부에 형성된 질화 실리콘 막 브리지; 및 상기 질화 실리콘 막 브리지 상부에 형성된 산화 실리콘 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 바이오마커 센서
3 3
제 1항에 있어서, 상기 압전 구동층은 상기 지지층 상부에 좌우 대칭으로 분리되어 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
4 4
제 1 또는 2항에 있어서, 상기 하부 전극과 상기 지지층 사이에 접합력을 향상하기 위한 접합층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
5 5
제 4에 있어서, 상기 접합층은 탄탈륨 또는 티타늄임을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
6 6
제 1항에 있어서,상기 감지층은 벤젠류 물질을 감지하는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane: PDMS) 또는 알콜류 물질을 감지하는 폴리메틸메트아크릴레이트(polymethylmetacrylate)임을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
7 7
제 1항에 있어서,상기 감지층은 인체의 신진대사 과정에서 발생하는 다양한 바이오마커 물질을 감지할 수 있는 여러 종류의 감지물질을 적용할 수 있는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서
8 8
제 1항에 따른 바이오마커 센서; 상기 바이오마커 센서의 감지층의 공진주파수 대역의 구동을 위한 오실레이터;상기 오실레이터의 공진주파수를 측정하는 주파수 카운터; 및상기 감지층으로부터 감지된 신호를 모니터링하기 위한 디스플레이 장치를 포함하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 모듈
9 9
초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법에 있어서, (a) 실리콘 기판 상부에 질화 실리콘 막 및 산화 실리콘 막으로 이루어진 지지층을 형성하는 단계;(b) 상기 산화 실리콘 막 상부에 하부 전극을 증착하는 단계;(c) 상기 증착된 하부 전극 위에 졸-겔 스핀코팅법(sol-gel spin coating)으로 압전 박막을 증착하는 단계;(d) 상기 증착된 압전 박막의 일부를 제거하여 상기 하부 전극 위에 좌우 대칭형으로 두 개로 분리되어 배열된 소정 크기의 압전 구동층을 형성하는 단계;(e) 상기 두 개로 분리되어 배열된 압전 구동층 보다 큰 크기의 두 개로 배열된 하부 전극을 형성하기 위해 하부전극의 일부를 제거하는 단계;(f) 상기 두 개로 배열된 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극 간 절연을 위한 절연층을 형성하는 단계;(g) 상기 절연층의 상부 및 상기 두 개로 배열된 압전 구동층의 상부에 상부 전극을 형성하는 단계; (h) 상기 질화 실리콘 막의 일부를 제거하는 단계; (i) 상기 (h) 단계로 노출된 실리콘 기판을 식각하는 단계;(j) 상기 실리콘이 식각된 소자의 상부 질화 실리콘 막의 일부를 제거하여 브리지 구조를 형성하는 단계; 및(k) 감지 대상물질을 감지하기 위한 감지층을 형성하는 단계를 포함하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 단계(a)는 실리콘 기판 상부 및 하부에 상부 및 하부 질화 실리콘 막을 증착하는 단계; 및 상기 질화 실리콘 막 상부에 산화 실리콘 막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법
11 11
제 9항에 있어서,상기 단계(k)는 고분자 물질을 포함한 용액을 이용해 소자 위에 스핀 코팅, 딥 코팅 또는 잉크젯 헤드를 이용한 코팅 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법
12 12
제 9항에 있어서,상기 단계(i)는 KOH를 이용한 습식 식각 또는 고밀도 플라즈마를 이용하는 건식 식각을 사용하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법
13 13
제 9항에 있어서,상기 단계(b)의 하부 전극을 형성하기 전에 접합력을 향상하기 위한 접합층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 제조 방법
14 14
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