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중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치 및 플라즈마 발생방법

  • 기술번호 : KST2015142804
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이온건의 구조를 변화시켜 동일한 가스 유량내에서 별도의 점화 장치없이 원활하게 플라즈마를 발생시킬 수 있는 플라즈마 발생장치 및 플라즈마 발생방법에 관한 것으로, 석영 컵으로 이루어진 플라즈마 발생부, 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 RF인가용 안테나, 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 냉각수 공급부 및 플라즈마 발생부와 직렬로 연통된 이그나이터를 포함하고, 플라즈마를 발생하기 위한 가스는 이그나이터로 공급되고, 이그나이터는 플라즈마 발생부보다 동일한 가스원의 유량에서 국부적으로 높은 압력을 갖는 구성을 마련한다.상기와 같은 중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치 및 플라즈마 발생방법을 이용하는 것에 의해, 별도의 전원 장치가 필요하지 않으므로 이온건의 단가를 절감할 수 있다는 효과가 얻어진다.플라즈마, 이그나이터, 가스원, 중성빔,
Int. CL H05H 1/34 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060026187 (2006.03.22)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0733844-0000 (2007.06.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070629) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.22)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 송파구
2 박상덕 대한민국 경기 수원시 장안구
3 오창권 대한민국 부산 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0200554-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.01.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0000734-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0052041-16
5 의견서
Written Opinion		 2007.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0195425-52
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.03.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0195436-54
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0337801-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
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중성빔을 이용하여 플라즈마를 발생시키는 장치로서,석영 컵으로 이루어지고 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부,상기 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 RF인가용 안테나,상기 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 냉각수 공급부,상기 플라즈마 발생부와 직렬로 연통된 이그나이터 및상기 장치 내에서 발생하는 전자파를 차단하기 위한 EMI(electromagnetic interference) 필터부를 포함하고,상기 플라즈마를 발생하기 위한 가스는 상기 이그나이터로 공급되고, 상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부보다 동일한 가스원의 유량에서 국부적으로 높은 압력을 갖는 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부보다 작은 부피로 이루어진 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부와 연통하는 홀을 구비한 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 홀은 0
5 5
제 4항에 있어서,상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부의 상부에 마련되는 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치
6 6
삭제
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중성빔을 이용하기 위한 플라즈마용 가스원을 마련하는 제1의 단계,상기 가스원을 이그나이터로 공급하는 제2의 단계,상기 이그나이터에서 생성된 플라즈마를 플라즈마 발생부로 공급하는 제3의 단계를 포함하고,상기 이그나이터와 상기 플라즈마 발생부는 직렬로 연통되고,상기 제3의 단계는 상기 이그나이터에 마련된 홀을 통해 상기 플라즈마 발생부로 공급되며,EMI(electromagnetic interference) 필터부로 장치 내에서 발생하는 전자파를 차단하는 것을 특징으로 하는 중성빔을 이용한 플라즈마 발생방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부보다 작은 부피로 이루어진 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생방법
9 9
제 8항에 있어서,상기 홀은 0
10 10
제 9항에 있어서,상기 이그나이터는 상기 플라즈마 발생부보다 동일한 가스원의 유량에서 국부적으로 높은 압력을 갖는 것을 특징으로 중성빔을 이용한 플라즈마 발생방법
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1 US07777178 US 미국 FAMILY
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1 US2007221833 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7777178 US 미국 DOCDBFAMILY
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