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서로 다른 주파수를 가지고 직교 편광되는 두 광원을 사용하여 타겟에 대한 위치를 측정하는 헤테로다인 레이저 간섭계;수nm 단위의 측정 정밀도를 가지고 상기 타겟의 위치를 측정하는 정전용량센서;상기 레이저 간섭계와 상기 정전용량센서로부터 각각의 측정값을 수신하여 최소 자승법 또는 반복 최소 자승법을 통해 보정 파라미터를 도출하는 보정부;상기 보정부로부터 상기 보정 파라미터를 수신하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하고 보정된 위치 정보를 산출하는 맵퍼;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는 타겟에 대한 위치 정보를 신호의 강도로 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는 기준 신호 강도와 측정 신호 강도를 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계의 보정 시스템은 상기 레이저 간섭계 및 상기 정전용량센서와 상기 보정부 사이에 연결되는 전처리부를 더 포함하고,상기 전처리부는미리 설정된 주파수 이상의 주파수만을 통과시키는 고대역 통과 필터 및상기 고대역 통과 필터에 출력된 신호를 증폭시켜 출력하는 증폭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 7항에 있어서, 상기 고대역 통과 필터는 DC 성분을 제거하는 필터인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 7항에 있어서, 상기 증폭부는 락인증폭기(Lock in amplifier)로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 7항 또는 제 10항에 있어서, 상기 증폭부는 상기 레이저 간섭계의 기준 신호를 위상이 미지연된 미지연 신호와 지연된 지연 신호로 출력하는 제 1위상 지연부, 상기 레이저 간섭계의 측정 신호를 위상 지연없이 출력하는 제 2위상 지연부, 상기 제 1위상 지연부의 미지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 1승산부, 상기 제 1위상 지연부의 지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 2승산부, 상기 제 1승산부 및 제 2승산부의 승산 처리 과정에서 발생된 고주파수 성분을 제거하는 저역 통과 필터로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 보정부는 보정 파라미터를 도출하는 파라미터 탐색부, 상기 정전용량센서의 기준값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 1데이터 처리부, 상기 레이저 간섭계의 측정값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 2데이터 처리부로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 12항에 있어서, 상기 파라미터 탐색부는 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출하는 제 1보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 반복 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출하는 제 2보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부와 상기 제 1보정 파라미터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부간의 데이터 교환과 상기 제 1보정 파라미터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부에서 산출된 보정 파라미터의 최적합 여부를 판단하여 적합한 보정 파라미터를 출력하는 조건 판단부로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 맵퍼는 상기 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하여 위상차 신호를 출력하는 위상 신호 처리부, 상기 신호 처리부의 위상차 신호를 거리로 환산하여 출력하는 위상 거리 변환부로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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제 14항에 있어서, 상기 위상 거리 변환부의 출력을 표시하는 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템
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헤테로다인 레이저 간섭계, 정전용량센서, 전처리부, 보정부 및 맵퍼로 이루어지는 보정 시스템을 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하는 방법에 있어서,(a) 상기 헤테로다인 레이저 간섭계와 상기 정전용량센서가 타겟의 위치를 각각 측정하는 단계,(b)상기 전처리부 또는 상기 보정부가 상기 레이저 간섭계 또는 상기 상기 정전용량센서의 측정값을 수신하여 보정 파라미터 도출에 이용할 수 있는 데이터 포맷으로 변환하는 단계;(c) 상기 보정부가 변환된 상기 레이저 간섭계의 측정값과 상기 정전용량센서의 측정값에 대하여 최소 자승법 또는 반복 최소 자승법을 통해 보정 파라미터를 도출하는 단계;(d) 상기 맵퍼가 도출된 상기 보정 파라미터를 수신하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하고 고정경로와 상기 타겟의 이동경로 사이의 위상차를 산출하는 단계;(e) 상기 맵퍼가 산출된 상기 위상차를 거리로 환산하여 보정된 위치 정보를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 방법
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제 16항에 있어서, 상기 (c) 단계는(c1) 변환된 상기 레이저 간섭계의 측정값과 상기 정전용량센서의 측정값을 수신하여 데이터베이스화하는 단계,(c2) 데이터베이스화된 데이터 중 N개의 데이터에 대해 최소 자승법을 수행하여 보정 파라미터를 도출하는 단계,(c3) 데이터베이스화된 데이터 중 상기 N개의 데이터 이후의 데이터에 대해 M개씩 반복 최소 자승법을 수행하여 보정 파라미터를 도출하는 단계,(c4) 상기 반복 최소 자승법을 통해 도출되는 보정 파라미터에 대해 상기 위치 정보의 비선형성을 기준으로 적합 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템 방법
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