맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템 및 출력보정방법

  • 기술번호 : KST2015142932
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템 및 출력보정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보정시스템은 측정 대상물에 대한 위치를 측정하여 측정값을 출력하는 헤테로다인 레이저 간섭계와; 상기 측정 대상물의 위치를 측정하여 제2 측정값을 출력하는 정전용량센서와; 상기 측정값 및 상기 제2 측정값을 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 상기 측정값을 제1 보정값으로 보정하는 제1 보정부와; 상기 제1 보정값 및 상기 제2 측정값을 각각 입력값 및 목표값으로 하여 신경망 회로를 생성하고, 상기 제1 보정값을 상기 신경망 회로의 입력으로 하여 제2 보정값을 생성하는 제2 보정부와; 상기 제2 보정부로부터 출력되는 상기 제2 보정값에 기초하여 상기 측정값에 대한 보정 측정값을 생성하는 보정값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 정전용량센서로부터의 출력을 기본신호로 하여 반복 최소 자승법을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력이 갖는 비선형성을 보정하고, 소음, 외란, 진동 등과 같은 불특정 요소에서 오는 환경적 오차를 신경망 회로를 이용하여 보정함으로써, 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력의 정밀도를 향상시켜 선형성 및 환경적 요소에 적응적인 시스템의 구현이 가능하게 된다.
Int. CL G01J 1/44 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01)
출원번호/일자 1020070085933 (2007.08.27)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0938108-0000 (2010.01.13)
공개번호/일자 10-2009-0021439 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20100121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.27)
심사청구항수 18

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 유관호 대한민국 경기 수원시 장안구
2 이우람 대한민국 경기 안양시 동안구
3 허건행 대한민국 경기 안성시
4 최인성 대한민국 서울 강남구
5 성욱진 대한민국 경기 부천시 원미구
6 최승옥 대한민국 전남 순천시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0619209-20
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2007.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0653639-36
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0171640-45
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0067653-29
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0086990-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0231326-44
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0231325-09
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0347223-28
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0546459-17
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0546460-53
12 등록결정서
Decision to grant		 2010.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0008611-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
측정 대상물에 대한 위치를 측정하여 측정값을 출력하는 헤테로다인 레이저 간섭계와; 상기 측정 대상물의 위치를 측정하여 기본신호값을 출력하는 정전용량센서와; 상기 측정값 및 상기 기본신호값을 이용하여 반복 최소 자승법에 적용하여 제1 보정값으로 보정하는 제1 보정부와; 상기 제1 보정값을 입력값으로, 상기 기본신호값을 목표값으로 설정하고 역전파 알고리즘을 통해 신경망 회로 함수를 생성한 후 상기 제1 보정값을 상기 생성된 신경망 회로 함수에 입력하여 그 출력으로 제2 보정값을 획득하는 제2 보정부와; 상기 제2 보정부로부터 출력되는 상기 제2 보정값에 기초하여 상기 측정값에 대한 보정 측정값을 생성하는 보정값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 출력되는 측정값은 상기 헤테로다인 레이저 간섭계 내 2개의 디텍터가 각각 측정한 기준 신호값과 측정 신호값을 포함하고; 상기 제1 보정값은 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 보정하여 획득하게 되는 제1 보정 신호값 및 제2 보정 신호값을 포함하며; 상기 제2 보정값은 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 상기 생성된 신경망 회로 함수에 입력하여 획득하는 제3 보정 신호값 및 제4 보정 신호값을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
3 3
제2항에 있어서, 상기 정전용량 센서로부터 출력되는 상기 기본신호값을 상기 제1 보정부 및 상기 제2 보정부에서 처리 가능한 제1 기본신호 및 제2 기본신호로 변환하여 상기 제1 보정부 및 상기 제2 보정부로 출력하는 센서신호 변환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
4 4
제3항에 있어서, 상기 제2 보정부는, 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 상기 신경망 회로 함수의 상기 입력값으로 하고, 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호를 상기 신경망 회로 함수의 목표값으로 하여 상기 신경망 회로 함수를 생성하는 신경망 회로 생성부와; 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 상기 신경망 회로 생성부에 의해 생성된 상기 신경망 회로 함수의 입력값으로 하여 상기 제3 보정 신호값 및 상기 제4 보정 신호값을 생성하는 제2 보정값 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
5 5
제3항에 있어서, 상기 제1 보정부는, 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값을 제1 전처리 신호값 및 제2 전처리 신호값으로 변환하여 출력하는 전처리부와; 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호에 기초하여 상기 반복 최소 자승법을 수행하여 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값으로 보정하는 오차 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
6 6
제5항에 있어서, 상기 오차 보정부는, 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호에 기초하여 상기 반복 최소 자승법을 수행하여 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 생성하는 오차 보정 알고리즘 수행부와; 상기 전처리부로부터 출력되는 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 상기 오차 보정 알고리즘 수행부의 수행을 위한 신호 형태로 변환하는 출력신호 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
7 7
제6항에 있어서, 상기 오차 보정 알고리즘 수행부는, 상기 제1 기본신호, 상기 제2 기본신호 및 상기 출력신호 변환부로부터의 출력을 이용하여 최소 자승법을 통해 제1 보정 파라미터를 산출하는 LS 알고리즘 수행부와; 상기 제1 기본신호, 상기 제2 기본신호, 상기 출력신호 변환부로부터의 출력 및 상기 제1 보정 파라미터를 이용하여 상기 반복 최소 자승법을 통해 복수의 제2 보정 파라미터를 산출하고, 상기 복수의 제2 보정 파라미터 중 선택된 어느 하나에 기초하여 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 생성하는 RLS 알고리즘 수행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
8 8
제5항에 있어서, 상기 전처리부는, 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값 중 기 설정된 주파수 이상의 주파수만을 통과시키는 고대역 통과 필터와; 상기 고대역 통과 필터를 통과한 상기 기준 신호값을 입력받고, 상기 입력된 기준 신호값의 위상이 지연된 신호와 지연되지 않은 신호를 출력하는 제1 위상지연부와; 상기 고대역 통과 필터를 통과한 상기 측정 신호값을 위상 지연없이 출력하는 제2 위상지연부와; 상기 제1 위상지연부로부터 출력되는 위상이 지연되지 않은 상기 기준 신호값과 상기 제2 위상지연부로부터 출력되는 위상이 지연되지 않은 상기 측정 신호값을 승산 처리하는 제1 곱셈기와; 상기 제1 위상지연부로부터 출력되는 위상이 지연된 상기 기준신호값과 상기 제2 위상지연부로부터 출력되는 위상이 지연되지 않은 상기 측정 신호값을 승산 처리하는 제2 곱셈기와; 상기 제1 곱셈기 및 상기 제2 곱셈기에 의해 승산 처리된 신호의 고주파 성분을 제거하고 기 설정된 크기로 증폭하여 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 출력하는 저대역 통과 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
9 9
제8항에 있어서, 상기 제1 위상지연부, 상기 제2 위상지연부, 상기 제1 곱셈기, 상기 제2 곱셈기 및 상기 저대역 통과 필터는 락인 증폭기(Lock-in amplifier) 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템
10 10
측정 대상물에 대한 위치를 측정하여 측정값을 출력하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법에 있어서, (a) 정전용량센서를 이용하여 상기 측정 대상물의 위치를 측정하여 기본신호값을 생성하는 단계와; (b) 상기 측정값 및 상기 기본신호값을 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 상기 측정값을 제1 보정값으로 보정하는 단계와; (c) 상기 제1 보정값을 입력값으로, 상기 기본신호값을 목표값으로 설정하고 역전파 알고리즘을 통해 신경망 회로 함수를 생성하는 단계와; (d) 상기 제1 보정값을 상기 생성된 신경망 회로 함수에 입력하여 그 출력으로 제2 보정값을 획득하는 단계와; (e) 상기 제2 보정값에 기초하여 상기 측정값에 대한 보정 측정값을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
11 11
제10항에 있어서, 상기 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 출력되는 측정값은 상기 헤테로다인 레이저 간섭계 내 2개의 디텍터가 각각 측정한 기준 신호값과 측정 신호값을 포함하고; 상기 제1 보정값은 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 보정하여 획득하게 되는 제1 보정 신호값 및 제2 보정 신호값을 포함하며; 상기 제2 보정값은 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 상기 생성된 신경망 회로 함수에 입력하여 획득하는 제3 보정 신호값 및 제4 보정 신호값을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 정전용량 센서로부터 출력되는 상기 기본신호값을 상기 제1 보정부 및 상기 제2 보정부에서 처리 가능한 제1 기본신호 및 제2 기본신호로 변환하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값이 상기 신경망 회로 함수의 상기 입력값이 되고, 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호가 상기 신경망 회로 함수의 상기 목표값이 되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
14 14
제12항에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값을 제1 전처리 신호값 및 제2 전처리 신호값으로 변환하는 단계와; (b2) 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호에 기초하여 상기 반복 최소 자승법을 수행하여 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값으로 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 (b2) 단계는, (b21) 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 오차 보정 알고리즘 수행을 위한 신호로 변환하는 단계; 와 (b22) 상기 제1 기본신호 및 상기 제2 기본신호에 기초하여 상기 반복 최소 자승법을 수행하여 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 생성하는 오차 보정 알고리즘 수행 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 (b22) 단계는, 상기 제1 기본신호, 상기 제2 기본신호 및 상기 오차 보정 알고리즘 수행을 위한 신호를 이용하여 최소 자승법을 통해 제1 보정 파라미터를 산출하는 단계와; 상기 제1 기본신호, 상기 제2 기본신호, 상기 오차 보정 알고리즘 수행을 위한 신호 및 상기 제1 보정 파라미터를 이용하여 상기 반복 최소 자승법을 통해 복수의 제2 보정 파라미터를 산출하고, 상기 복수의 제2 보정 파라미터 중 선택된 어느 하나에 기초하여 상기 제1 보정 신호값 및 상기 제2 보정 신호값을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
17 17
제14항에 있어서, 상기 (b1) 단계는, (b11) 상기 기준 신호값 및 상기 측정 신호값을 고대역 통과 필터에 입력하여 기 설정된 주파수 이상의 주파수만을 통과시키는 단계와; (b12) 상기 고대역 통과 필터를 통과한 상기 기준 신호값을 위상이 지연된 신호와 지연되지 않은 신호로 변환하는 단계와; (b13) 상기 고대역 통과 필터를 통과한 상기 측정 신호값을 위상 지연없이 출력하는 단계와; (b14) 위상이 지연되지 않은 상기 기준 신호값과 위상이 지연되지 않은 상기 측정 신호값을 승산 처리하는 단계와; (b15) 위상이 지연된 상기 기준 신호값과 위상이 지연되지 않은 상기 측정 신호값을 승산 처리하는 단계와; (b15) 상기 (b14) 단계 및 상기 (b15) 단계에서 승산 처리된 신호를 저대역 통과 필터에 통과시켜 고주파 성분을 제거하고, 기 설정된 크기로 증폭하여 상기 제1 전처리 신호값 및 상기 제2 전처리 신호값을 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
18 18
제17항에 있어서, 상기 (b12) 단계 내지 상기 (b15) 단계는 락인 증폭기(Lock-in amplifier)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력보정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 성균관대학교 산학협력단 신진교수연구과제 하이브리드 데이터 기반의 적응형 최적화 기법을 이용한헤테로다인 레이저 간섭계 측정 정밀도 향상