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액상 물질을 함유하는 탄성체층에 압력을 가해 상기 탄성체층의 표면으로 상기 액상 물질의 미세액적을 용출시켜 액적 패턴을 형성하고; 상기 액적 패턴에 몰딩 부재를 접촉시켜 상기 몰딩 부재에 상기 액적 패턴에 대응하는 음각 패턴을 형성하는 것:을 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 탄성체층은 상기 액상 물질에 대한 흡수력을 가지는 고분자, 무기물 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 탄성체층을 형성할 수 있는 프리폴리머 또는 상기 프리폴리머와 경화제를 포함하는 혼합물을 경화시켜 상기 탄성체층을 형성하는 것을 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 프리폴리머 자체가 상기 액상 물질로서 작용하며, 상기 프리폴리머와 혼합되는 상기 경화제의 비율을 조절함으로써, 상기 경화에 의하여 형성되는 상기 탄성체층의 내부에 남아 있는 상기 프리폴리머의 양을 조절하여 상기 탄성체층에 함유되는 상기 액상 물질의 양을 조절하는 것을 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 프리폴리머 자체가 상기 액상 물질의 역할을 하며, 기재(substrate) 상에 상기 탄성체층 형성용 프리폴리머와 경화제를 포함하는 혼합 용액의 층을 형성하고 상기 액상 물질로서 상기 프리폴리머를 추가 주입한 후 상기 혼합 용액의 층을 경화시키는 것을 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 액적 패턴에 몰딩 부재를 접촉시키기 전에 상기 액적 패턴을 기판 또는 별도의 패턴 상에 전사(transfer)하는 것을 더 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 액상 물질은 유기 액체, 무기 액체 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 액상 물질은 무기물 나노 입자를 포함하는 것인, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 액적 패턴 형성과 상기 몰딩 부재에 상기 액적 패턴에 대응하는 음각 패턴을 형성하는 것을 복수회 반복하여 복수층의 패턴을 형성하는 것을 포함하는, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄성체층의 일면에 패턴이 형성되어 있는 것인, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 10 항에 있어서,상기 탄성체층의 일면에 형성된 패턴은 주름형 패턴을 포함하는 것인, 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법
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제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 미세액적의 주형성형법을 이용한 미세패턴 형성 방법에 의하여 형성되며,상기 액적 패턴에 대응하는 음각 패턴을 포함하는,미세패턴 구조체
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