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전도성 기판에 다층의 감광막을 도포하는 단계; 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 다층의 감광막을 순차적으로 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 전주도금을 이용하여 금속층을 형성시키는 단계; 및 상기 금속층을 상기 전도성 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 기판에 감광막을 접합하는 단계 전에, 전도성 기판 표면의 오염물을 제거하는 탈지 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 기판은 SUS 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 전주도금을 이용하여 금속층을 형성하는 공정에서 사용되는 상기 금속층은 Ni, Ni-SiC 복합재 및 Ni-Al2O3 복합재를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 물질인 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 감광막은 액상감광막 또는 감광필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 다층의 감광막을 순차적으로 노광 및 현상하여 다층의 감광막이 서로 다른 피치와 높이를 가지는 형태로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 전주도금을 이용하여 금속층을 형성시킨 후, 상기 금속층을 전도성 기판으로부터 분리하기 전에, 잔류하는 감광막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속층을 상기 전도성 기판으로부터 분리시킨 후에 금속층의 개구부를 세척하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속층은 순수한 Ni 금속층에 경도와 내마모 특성을 향상시키기 위하여 TiN, WC 등을 증착하는 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속마스크 제조방법
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전도성 기판에 제 1감광필름을 도포하는 단계; 상기 제 1감광필름 상에 제 2감광필름을 도포하는 단계; 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 제 2감광필름을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 제 1감광필름을 노광 및 형상하여 패터닝하는 단계; 전주도금을 이용하여 금속층을 형성시키는 단계; 및 상기 금속층을 상기 전도성 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 금속마스크 제조방법
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전주도금법을 이용한 금속마스크로서, 제 1항 내지 10항 중 어느 한 항에 기재된 방법을 이용하여 제작되는 전주도금법을 이용한 금속마스크
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제 11항에 있어서, 상기 금속마스크는 다양한 피치와 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 금속마스크
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